[发明专利]一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法

权利要求书

1.一种硅片转运装载装置，其特征在于：其包括机架（1）、两石英舟定位上下料系统（2）、花篮通道转运系统（3）和双头转运机械手系统（4）；两所述石英舟定位上下料系统（2）分别设置于所述机架（1）的左右两侧，所述花篮通道转运系统（3）设置于所述机架（1）的中部且位于两石英舟定位上下料系统（2）之间，所述双头转运机械手系统（4）横跨所述机架（1）的左右两侧且位于所述石英舟定位上下料系统（2）和花篮通道转运系统（3）的上方；

所述石英舟定位上下料系统（2）包括石英舟水平运动机构、石英舟定位机构、升降托片机构和硅片调整机构；

所述花篮通道转运系统（3）包括两个并列的花篮通道，所述花篮通道的底部设置有转送花篮的转送装置，在所述花篮通道两侧设置有可拆卸的挡板，所述花篮通道包括顺序衔接的上料段、定位段和出料段，所述上料段设置有阻挡花篮的花篮阻挡装置，所述定位段设置有花篮定位装置、硅片规正装置和托片升降装置；

所述双头转运机械手系统（4）包括设置在所述机架上的龙门架、固定设置在所述龙门架上的升降机构、由所述升价机构驱动的横移机构和设置在所述横移机构上的两个吸盘机械手。

2.一种基于权利要求1所述的硅片转运装载装置的硅片扩散转运装载方法，其特征在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；

硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置；在所述石英舟定位上下料系统上放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取两个花篮通道中的50片硅片，然后移动到石英舟上方，两个吸盘机械手上的硅片合片，升降托片机构上升，将两个吸盘机械手上的硅片拖住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，使石英舟一槽内装有两片硅片，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟中的槽都装满硅片，且一槽两片，然后石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；

硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的石英舟放置在石英舟定位上下料系统上，且一槽两片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，一槽中托起两片，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取被托起的硅片，然后分别移动到两个空花篮上方，所述定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。

3.一种基于权利要求1所述的硅片转运装载装置的硅片退火转运装载方法，其特征在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；

硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内；在两个所述石英舟定位上下料系统上分别放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两个花篮通道中的50片硅片，两个吸盘机械手分别移动到两侧的石英舟上方，相应的升降托片机构上升，将硅片托住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，将硅片放置在石英舟剩余的槽内，使两个石英舟中的槽都装满硅片，且一槽一片，然后两个石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；

硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的两个石英舟分别放置在两侧的石英舟定位上下料系统上，且一槽一片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，两个石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两侧被托起的硅片，然后分别移动到两个花篮通道的空花篮上方，所述花篮通道的定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，两个装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。