[发明专利]一种颜色可调的氧化铝陶瓷涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种颜色可调的氧化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：所述的颜色可调的氧化铝陶瓷涂层基体表面与Al₂O₃顶层之间依次沉积有CrN层，CrCuInN层和 TiAlN层；所述的颜色可调的氧化铝陶瓷涂层的制备方法包括如下步骤：

步骤1：将预抛光、清洗和干燥后的304不锈钢基片固定在镀膜室的转台上， 开启机械泵和分子泵抽真空使腔体本底真空度低于~10^-4 Pa, 打开加热系统，升温至100~150℃, 开启载具使其转动, 转速4~10 r/min，向腔体室内通入Ar气，气流量为15~30 SCCM，调整真空室压强为2.5 Pa，基片加600~800V脉冲负偏压，对基片表面反溅清洗10~20min，随后调整负偏压至50~200V,同时打开N₂气阀并调整流量为8~15SCCM，开启Cr靶，靶材功率调整为90~120W，调整真空室压力为0.3~1.2Pa沉积CrN粘结层5~10 min；

步骤2：关掉Cr靶电源，保持Ar和N₂气流量不变，负偏压调整为90~150V, 开启Cr-Cu-In-复合靶使其靶材功率为90~120W，沉积CrCuInN涂层40~60 min；

步骤3：关掉Cr-Cu-In-复合靶电源，调整Ar气流量为20~30SCCM、 N₂气流量为10~18SCCM，负偏压为90~150V，同时开启Al靶和Ti靶电源，调整Al靶材功率为150~200W， Ti靶材功率为200~150W，沉积TiAlN层30~50 min；

步骤4：保持步骤3的Ar气流量不变，关掉Ti靶电源、关掉N₂气阀门，同时打开O₂气阀门，调整O₂流量为8~15 SCCM，调整负偏压为50~150V，Al靶材功率调整为120~150W，沉积Al₂O₃层30~50 min。

2.根据权利要求1所述的颜色可调的氧化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：

Cr-Cu-In复合靶靶材直径φ60 mm，厚3mm，按靶面面积占比计，Cr占65%~85%, Cu占10%~34%，In占1%~5%，总面积分数之和为100%。