[发明专利]波前量测系统

权利要求书

1.一种波前量测系统，适用于量测待测光学元件或光学系统，其特征在于：包含

发光元件，产生均匀光束，所述均匀光束用于通过或反射所述待测光学元件或所述光学系统，所述均匀光束通过或反射所述待测光学元件或所述光学系统后产生不均匀光束；

拍摄单元，包括阵列透镜及拍摄模块，所述拍摄模块用于拍摄所述不均匀光束通过所述阵列透镜所产生的多个强度不均匀的光线；及

处理单元，电连接所述发光元件及所述拍摄单元，所述处理单元控制所述发光元件及所述拍摄单元，以调整出多个相关于曝光量的拍摄条件；

其中，对于所述拍摄条件的每一者，所述处理单元控制所述拍摄单元的所述拍摄模块拍摄所述光线，以产生多张分别包括多个光点的图像，每一个光点对应包含所述光点所包括的多个像素坐标及其对应的像素值的光点信息，所述处理单元根据所述图像的至少二者的光点信息产生相关于所述光点的波前信息；

所述发光元件与所述待测光学元件或所述光学系统间存在预设的光学共轭距离，以使所述阵列透镜的光点采样密度在所述待测光学元件或所述光学系统的入瞳边缘部分较入瞳中心部位高。

2.根据权利要求1所述的波前量测系统，其特征在于：所述波前信息包含波前斜率、波前相位或波前强度。

3.根据权利要求1所述的波前量测系统，其特征在于：对于所述拍摄条件的每一者，所述处理单元控制所述拍摄单元的所述拍摄模块拍摄所述光线的所欲拍摄范围，所述拍摄条件的曝光量的最大值及最小值的比值相关于预定值，所述预定值相关于所述所欲拍摄范围内的光线强度最大值及最小值的比值。

4.根据权利要求1所述的波前量测系统，其特征在于：每一张图像各自所包含的所述光点包括对应第一光点信息的第一光点及对应第二光点信息的第二光点，所述第一光点信息包括所述第一光点所包括的多个第一像素坐标及其对应的第一像素值，所述第二光点信息包括所述第二光点所包括的多个第二像素坐标及其对应的第二像素值，对于每一张图像，所述处理单元至少根据判定条件，获得至少一个第一候选光点信息及至少一个第二候选光点信息，所述处理单元并至少根据该至少一个第一候选光点信息及该至少一个第二候选光点信息，以产生合成图像。

5.根据权利要求1所述的波前量测系统，其特征在于：所述拍摄单元还包括快门，所述处理单元借由产生相关于所述快门的快门控制信号以调整所述拍摄单元的快门的快门速度，及借由产生相关于所述发光元件的发光控制信号以调整所述发光元件产生的所述均匀光束的强度的其中至少一者，以调整出不同的所述拍摄条件。

6.根据权利要求5所述的波前量测系统，其特征在于：在所述快门速度固定下，所述均匀光束的强度为周期性的增减。

7.根据权利要求5所述的波前量测系统，其特征在于：所述处理单元借由非线性的方式增减所述拍摄单元的快门的快门速度及所述发光元件产生的均匀光束的强度的其中至少一者，以非线性增减曝光量来调整出不同的所述拍摄条件。

8.根据权利要求7所述的波前量测系统，其特征在于：有L个分别对应多个曝光量的拍摄条件，其中第j个拍摄条件的曝光量为K的j次方，其中K为大于1小于3的常数，1≤j≤L。

9.根据权利要求1所述的波前量测系统，其特征在于：每一张图像各自所包含的所述光点包括对应第一光点信息的第一光点及对应第二光点信息的第二光点，所述第一光点信息包括所述第一光点所包括的多个第一像素坐标及其对应的第一像素值，所述第二光点信息包括所述第二光点所包括的多个第二像素坐标及其对应的第二像素值，对于每一张图像，所述处理单元至少根据判定条件，获得至少一个第一候选光点信息及至少一个第二候选光点信息，所述处理单元并至少根据该至少一个第一候选光点信息及该至少一个第二候选光点信息产生所述波前信息。