[发明专利]一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法有效
| 申请号： | 201711088851.6 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107738036B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王文君;李江;梅雪松;孙学峰;潘爱飞;崔健磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/60 | 分类号： | B23K26/60;B23K26/0622;G02B3/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 制备 均匀 可控 透镜 结构 方法 | ||
1.一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将PMMA颗粒溶于甲苯，配制PMMA质量分数为15％-25％的溶液，涂敷在黑色亚克力板(2)上，固化得双层加工样片；双层加工样片上层的透明PMMA层(1)作为膨胀层材料；下层的黑色亚克力板(2)作为吸收层材料；
2)搭建光路，光路包括飞秒激光器(4)，飞秒激光器(4)输出光经过第一反射镜(5)使光路转90°，反射光依次经过衰减片(6)、光圈(7)、半波片(8)、分光棱镜(9)、快门(10)、第二反射镜(11)、聚焦物镜(12)垂直照射在移动载物台(13)的加工工位上，飞秒激光器(4)、快门(10)、移动载物台(13)和电脑(14)连接，利用半波片(8)和分光棱镜(9)调节激光功率，同时电脑(14)通过快门(10)控制光路的通断，采用聚焦物镜(12)用于飞秒激光器(4)输出激光的聚焦；
3)利用电脑(14)调节飞秒激光器(4)输出激光，激光波长为800nm，重频为1kHz，脉宽为120fs，脉冲数为1000-2500，激光功率为20-60mw，阵列间距400-600μm；
4)将步骤1)制备的双层加工样片固定在移动载物台(13)加工工位上，调节移动载物台(13)位置，使激光(3)聚焦于双层加工样片的黑色亚克力板(2)，制备微透镜阵列。
2.根据权利要求1所述的一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，其特征在于：通过调节激光功率和阵列间距，能够调节微透镜阵列直径和高度。
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