[发明专利]一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法

权利要求书

1.一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)用数值模拟的方法模拟待测薄膜材料在恒定热通量条件下的温度分布，模拟的待测薄膜的厚度按照一次函数变化，得到各个时刻待测薄膜表面的温度分布；两侧的厚度分别为h₁和h₂(其中h₁为较薄的一侧，h₂为较厚的另一侧)，计算出薄膜厚度变化的百分比根据模拟出的两侧边缘的温度T₁和T₂(T₁和T₂为某一时刻分别对应厚度为h₁和h₂的温度)，计算出各个时刻温度变化的百分比比较P₁和各个时刻的P₂，得出两个变化百分比相同时的特定时刻t；

(2)将待测薄膜2平铺在加热装置1上，待测薄膜2一侧紧贴加热装置，并保证待测薄膜2与加热装置1之间不存在气泡，红外摄像装置3的红外镜头垂直安放在待测薄膜1另一侧的上方，拍摄出各个时刻薄膜表面的温度分布图；

(3)观测特定时刻t拍摄出的薄膜表面的温度分布图，如果薄膜表面各个位置温度无差异，则说明薄膜厚度是均匀的；如果薄膜表面某个位置的温度高于其他地方，则说明该位置薄膜的厚度小于其他地方；反之，则说明该位置薄膜的厚度高于其他地方；

2.根据权利要求1所述的一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法，其特征在于，所述待测薄膜2可以是导电材质、非导电材质、透明薄膜或不透明薄膜。