[发明专利]两级压电驱动微纳定位平台

权利要求书

1.两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：包括基座、一级运动平台、一级运动平台柔顺机构、二级运动平台、二级运动平台运动导向机构和压电陶瓷驱动器；

所述一级运动平台通过所述一级运动平台柔顺机构装配于所述基座中，所述一级运动平台柔顺机构包括一级运动平台位移放大机构和一级运动平台运动导向机构；

所述二级运动平台通过所述二级运动平台运动导向机构装配于一级运动平台中；

所述压电陶瓷驱动器包括一级运动平台压电陶瓷驱动器和二级运动平台压电陶瓷驱动器，所述一级运动平台压电陶瓷驱动器和所述二级运动平台压电陶瓷驱动器分别驱动所述一级运动平台和所述二级运动平台；

所述一级运动平台位移放大机构为一柔性八杆放大机构，所述柔性八杆放大机构包括两输入端臂和两输出端臂；所述一级运动平台压电陶瓷驱动器安装于所述两输入端臂中间；一输出端臂与基座连接，另一输出端臂与所述一级运动平台连接；

所述一级运动平台运动导向机构为半圆柔性铰链组成的复合平行四杆机构，沿所述两级压电驱动微纳定位平台运动中心轴线对称分布，连接于所述基座和所述一级运动平台之间；一级运动平台导向机构用于给一级运动平台提供支撑与导向。

2.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：所述二级运动平台运动导向机构由多组柔性板簧组成，柔性板簧沿所述两级压电驱动微纳定位平台运动中心轴线对称分布，每个板簧一端与所述二级运动平台连接，另一端与一级运动平台连接；所述二级运动平台压电陶瓷驱动器沿所述两级压电驱动微纳定位平台运动轴线安装于所述一级运动平台和所述二级运动平台之间。

3.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：安装在所述一级运动平台位移放大机构两输入端臂中间的所述一级运动平台压电陶瓷驱动器通过所述一级运动平台位移放大机构与一级运动平台运动导向机构中铰链的弹性回复力来预紧。

4.根据权利要求2所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：安装在所述一级运动平台和所述二级运动平台之间二级运动平台压电陶瓷驱动器通过所述二级运动平台运动导向机构中铰链的弹性回复力来预紧。

5.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：沿所述两级压电驱动微纳定位平台运动中心轴线方向，一通孔穿过所述基座和一级运动平台一侧，用于安装检测所述二级运动平台位移传感器。

6.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：在所述基座中通孔的上端加工有一螺钉孔，用于安装螺钉固定传感器。

7.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：在所述二级运动平台上均布多个螺纹通孔，用于固定需要精密定位的物件。

8.根据权利要求1所述的两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：所述一级运动平台位移放大机构一输出端臂与一级运动平台连接部分有多个通孔。