[发明专利]蒸镀用的复合掩模板有效
申请号: | 201711091790.9 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107653437B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 范硕 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀用 复合 模板 | ||
1.一种蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,包括底座(10)、栅格结构(20)和掩膜板(30),所述栅格结构(20)为多条相互垂直的第一筋条(21)和第二筋条(22)形成的网状结构,所述底座(10)为中部开设有蒸镀孔(100)的环状板,所述底座(10)的顶面还开设有连通所述蒸镀孔(100)的安装槽(110),所述栅格结构(20)可拆卸地悬于所述蒸镀孔(100)内且四周搭接并固定于所述安装槽(110)内,且所述栅格结构(20)的上表面与所述顶面平齐;所述掩膜板(30)包括多个间隔的镂空图案区域(31)和与所述镂空图案区域(31)相邻的空白区域(32),所述掩膜板(30)搭接在所述底座(10)上,且所述第一筋条(21)和所述第二筋条(22)在所述掩膜板(30)上的投影位于所述空白区域(32)内。
2.根据权利要求1所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述安装槽(110)包括位于所述底座(10)的顶面上两相对边的第一安装槽(111)和位于所述底座(10)的顶面上另两相对边的第二安装槽(112);所述第一筋条(21)搭接于所述第二筋条(22)上方,所述第一筋条(21)嵌设于所述第一安装槽(111)内,所述第二筋条(22)嵌设于所述第二安装槽(112)内,且所述第二安装槽(112)的深度为所述第一筋条(21)与所述第二筋条(22)的厚度之和,所述第一安装槽(111)的深度与所述第一筋条(21)的厚度相同。
3.根据权利要求2所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述掩膜板(30)平行于所述第一筋条(21)放置,相邻两根所述第一筋条(21)之间的间隙小于所述掩膜板(30)的宽度,所述掩膜板(30)搭接在相邻两根所述第一筋条(21)表面。
4.根据权利要求2所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述第二筋条(22)朝向所述第一筋条(21)的表面开设有第一凹槽(220),所述第一筋条(21)嵌设并卡持于所述第一凹槽(220)内。
5.根据权利要求2所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述第一筋条(21)朝向所述第二筋条(22)的表面开设有第二凹槽(210),所述第二筋条(22)嵌设并卡持于所述第二凹槽(210)内。
6.根据权利要求2所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述底座(10)的底面还开设有连通所述蒸镀孔(100)的副安装槽(110'),所述副安装槽(110')包括位于所述底座(10)的底面上两相对边的第一副安装槽(111')和位于所述底座(10)的底面上另两相对边的第二副安装槽(112'),所述第二副安装槽(112')的深度为所述第一筋条(21)与所述第二筋条(22)的厚度之和,所述第一副安装槽(111')的深度与所述第一筋条(21)的厚度相同。
7.根据权利要求6所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,还包括遮板(40),当所述底座(10)的顶部结构出现损坏或磨损,拆掉上方的第一筋条(21)和第二筋条(22)后将其分别固定到底座底部的第一副安装槽(111')和第二副安装槽(112')内后将复合掩模板翻转至底朝上使用;所述遮板(40)可用于遮挡未使用的所述安装槽(110)或所述副安装槽(110'),包括框形的边框部(41)和设于所述边框部(41)的第一对相对的边上的第一凸块(42)和设于所述边框部(41)的第二对相对的边上的第二凸块(43),所述第一凸块(42)、所述第二凸块(43)的凸出方向相同,且当所述边框部(41)选择性地贴合在所述底座(10)的顶面或底面时,所述第一凸块(42)与所述第二凸块(43)分别对应地卡合在未使用的所述安装槽(110)或所述副安装槽(110')内。
8.根据权利要求7所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,所述第一凸块(42)、所述第二凸块(43)的凸出高度分别与所述第一安装槽(111)的深度、所述第二安装槽(112)的深度相同。
9.根据权利要求1-8任一所述的蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,还包括分别设于所述底座(10)两端的定位架(50),所述定位架(50)将多块所述掩膜板(30)衔接在一起,且所述定位架(50)上设置有对位标记(51),所述底座(10)上对应设有供所述对位标记(51)作为对位基准的参考标记(11)。
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