[发明专利]一种高效的缺陷抽检方法及系统

说明书

本发明公开了一种高效的缺陷抽检方法及系统，在尾数抽检的前提下，对经过检测站的产品批次按照生产设备进行单独计数，来控制每个生产设备的产品的被检测频率，并通过对生产设备和检测站的干预，通过减少或增加抽检批次，从而实现智能调节，保证生产线上所有生产设备都能被均匀的抽检，提高抽检效率。

技术领域

本发明涉及集成电路制造的领域，尤其涉及一种高效的缺陷抽检方法。

背景技术

随着工业设备的智能化发展，集成电路产业取得了飞速发展。在大型集成电路晶圆生产过程中，生产工厂需要对生产的全流程进行监控，适时检测不同工艺过程中产生的缺陷问题，并及时反馈给生产管理人员，提高生产管理人员对产品的缺陷改善以及调整工艺的效率。

现有的对于大型集成电路晶圆的生产抽检方法通常是采用产品批次编号的尾数来进行抽检。采用简单的尾数抽检可以实现对纵向的工艺段覆盖，便于分析产品问题的原因。但是，检测站在对产品进行检测时，会存在被抽检批次集中出现的情况，而且由于一道工序中存在多个生产设备，也很难保证抽检覆盖所有生产设备。采用简单的尾数抽检，对同一工艺段不同生产设备横向覆盖的随机性较大，根据图1所示，设备A至设备I的被抽检率为对应的图形高度，采用简单的尾数抽检容易造成同一工艺段中，一部分生产设备被集中检测，另一部分生产设备则很少被检测到。

发明内容

针对现有技术中对于同一工艺段不同生产设备抽检覆盖不均匀的问题，现提供一种高效的缺陷抽检方法，应用于集成电路制造领域。

具体技术方案如下：

一种高效的缺陷抽检方法，所有产品按照进入生产线的顺序生成产品批次的批号，所述生产线上设置有多个检测站，所述检测站间隔地设置在所述生产线的多道工序之间，每道所述工序上设置有多个生产设备；

所述高效的缺陷抽检方法包括以下步骤：

步骤S1：根据产品批号的尾数确定抽检批次；

步骤S2：从上一被检测产品批次开始，所述检测站对经过所述检测站的所有产品批次按照所述生产设备单独进行计数，获得间隔批次数；

步骤S3：在所述检测站完成对上一次检测后，将所述间隔批次数与用户输入的第一预设值进行比较；

若所述间隔批次数小于所述第一预设值时，则进入步骤S4；

若所述间隔批次数不小于所述第一预设值时，则进入步骤S5；

步骤S4：对应的所述生产设备优先生产非抽检批次，返回步骤S3；

步骤S5：判断经过所述检测站的所有产品批次中是否存在所述抽检批次；

若存在所述抽检批次，则进入步骤S6；

若不存在所述抽检批次，则进入步骤S7；

步骤S6：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述抽检批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2；

步骤S7：对应的所述生产设备优先生产所述抽检批次，返回步骤S3。

优选的，所述步骤S7包括以下步骤：

步骤S71：判断对应的所述生产设备后续生产的所述产品批次中是否存在所述抽检批次；

若不存在所述抽检批次，进入步骤S72；

若存在所述抽检批次，进入步骤S73；

步骤S72：所述检测站开始对经过所述检测站的所有产品批次中最后完成生产的所述产品批次进行检测；

所述检测站开始下一次检测后，返回步骤S2。