[发明专利]固态影像装置

权利要求书

1.一种固态影像装置，具有一感测区、一接垫区及一周边区位于该感测区与该接垫区之间，该固态影像装置包括：

一半导体基底；

多个光电转换元件，设置于该半导体基底内且位于该感测区中；

一接合垫，设置于该半导体基底上且位于该接垫区中；

一微透镜层，包含一微透镜阵列及一第一虚设结构，设置于该半导体基底之上，其中该微透镜阵列设置于该感测区中，该第一虚设结构设置于该接垫区中，且该第一虚设结构包含多个第一微透镜元件设置成围绕该接合垫的一区域；以及

一护膜，顺应性地形成于该微透镜层的一顶面上。

2.如权利要求1所述的固态影像装置，其中所述第一微透镜元件还设置于该接合垫的正上方，或者其中该第一虚设结构还包含一平坦部设置于该接合垫的正上方，且该护膜顺应性地形成于该平坦部上。

3.如权利要求1所述的固态影像装置，其中该微透镜层还包含一第二虚设结构设置于该周边区中，该第二虚设结构包含多个第二微透镜元件，且该微透镜阵列包含多个第三微透镜元件。

4.如权利要求3所述的固态影像装置，其中该微透镜阵列的所述第三微透镜元件中的每一个具有一第三微透镜高度，该第二虚设结构的所述第二微透镜元件中的每一个具有一第二微透镜高度，且该第三微透镜高度大于该第二微透镜高度，以及该第一虚设结构的所述第一微透镜元件中的每一个具有一第一微透镜高度，且该第二微透镜高度大于该第一微透镜高度。

5.如权利要求3所述的固态影像装置，其中所述第一微透镜元件中的每一个具有一第一曲率半径，所述第二微透镜元件中的每一个具有一第二曲率半径，且该第一曲率半径大于该第二曲率半径，以及该微透镜阵列的所述第三微透镜元件中的每一个具有一第三曲率半径，且该第二曲率半径大于该第三曲率半径。

6.如权利要求3所述的固态影像装置，其中该微透镜阵列的顶端高于该第二虚设结构的顶端，且该第二虚设结构的顶端高于该第一虚设结构的顶端，以及该微透镜阵列的所述第三微透镜元件、该第二虚设结构的所述第二微透镜元件及该第一虚设结构的所述第一微透镜元件皆以相同的间距排列。

7.如权利要求1所述的固态影像装置，其中该护膜为一化学气相沉积膜，该化学气相沉积膜的材料包含氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或其组合，且该护膜连续地覆盖该感测区、该周边区及该接垫区。

8.如权利要求1所述的固态影像装置，还包括：

一彩色滤光层，设置于该半导体基底与该微透镜层之间；

一介电层，设置于该彩色滤光层与该半导体基底之间；以及

一开口，穿过该护膜、该微透镜层、该彩色滤光层和该介电层，以暴露出该接合垫。

9.如权利要求8所述的固态影像装置，还包括：

一遮光层，设置于该半导体基底上且位于该感测区和该周边区中，其中该遮光层具有一边缘对齐该周边区与该接垫区之间的一边界，该遮光层包括一金属网格，且该金属网格的每一个方格对应于该固态影像装置的一个独立像素；以及

一平坦化层，设置于该遮光层与该彩色滤光层之间，且该开口还穿过该平坦化层。

10.如权利要求1所述的固态影像装置，其中该第一虚设结构还包含一平坦部设置于该接合垫的正上方，且延伸至该接合垫的该区域以外的一区域，直到该半导体基板的一边缘，且该护膜顺应性地形成于该平坦部上，且该固态影像装置还包括一内连线层，设置于该半导体基底下方，或设置于该半导体基底与该接合垫之间，其中该接合垫电性连接至该内连线层。