[发明专利]X射线管用旋转阳极靶、X射线管以及X射线检查装置

权利要求书

1.一种X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其包括下述工序：

将包含选自钼、钨、钽、铌和铁中的至少一种金属或者含有所述金属的合金的第一原料粉末成型来形成第一成型体，将所述第一成型体烧结来形成烧结体，将所述烧结体加工成圆盘状来形成圆盘状金属部件；

在所述圆盘状金属部件的表面形成X射线放射部；

将包含选自钼、钨、钽、铌和铁中的至少一种金属或者含有所述金属的合金的第二原料粉末成型来形成第二成型体，将所述第二成型体加工成圆筒状来形成圆筒状金属部件；以及

将所述圆盘状金属部件与所述圆筒状金属部件接合，

其中，所述圆盘状金属部件在从所述圆盘状金属部件与所述圆筒状金属部件的接合部起2mm以内的第一区域包含多个第一晶粒，

所述圆筒状金属部件在从所述接合部起2mm以内的第二区域包含多个第二晶粒，

所述第一晶粒的第一平均纵横比为1.3以上且1.8以下，

所述第二晶粒的第二平均纵横比为2.4以上且6.5以下。

2.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，每1000μm×1000μm的单位面积以个数比例计为80％以上且100％以下的所述第二晶粒的长径方向与所述圆筒状金属部件的长度方向的偏差为-25度以上且+25度以下。

3.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述第一晶粒的平均粒径为20μm以上且500μm以下。

4.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述第二晶粒的平均粒径为20μm以上且800μm以下。

5.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述圆筒状金属部件隔着焊料层与所述圆盘状金属部件接合。

6.根据权利要求5所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述焊料层包含选自Ti、Zr、Hf、Pt、Co、Cr、Ni和V中的至少一种元素。

7.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其还包括在所述圆盘状金属部件的表面形成金属氧化物覆膜的工序。

8.根据权利要求7所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述金属氧化物覆膜包含二氧化钛与氧化铝的混合物。

9.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其还包括将石墨部件与所述圆盘状金属部件接合的工序。

10.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述圆盘状金属部件的厚度为10mm以上且60mm以下。

11.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，所述X射线放射部包含Re与W的合金。

12.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其还包括下述工序：

在所述圆筒状金属部件的圆筒内设置固定轴；以及

向所述圆筒状金属部件与所述固定轴之间供给液体金属润滑剂。

13.根据权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法，其中，加工成所述圆盘状时的所述烧结体的加工率为10％以上且60％以下，

形成所述圆筒状金属部件时的所述第二成型体的加工率为10％以上且90％以下。

14.一种X射线管的制造方法，其包括下述工序：

通过权利要求1所述的X射线管用旋转阳极靶的制造方法来制造X射线管用旋转阳极；以及

设置保持所述X射线管用旋转阳极和对所述X射线放射部照射电子束的阴极的真空容器。

15.一种X射线检查装置的制造方法，其包括下述工序：

通过权利要求14所述的X射线管的制造方法来制造X射线管；

设置对所透过的X射线进行检测的检测器；以及

生成与来自所述检测器的检测数据相对应的图像。