[发明专利]柔性薄膜太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

在刚性的基板上形成界面层，所述界面层的材料为钼，所述界面层的电阻率为1.5×10^-6Ω·m～3.5×10^-6Ω·m；

在所述界面层上形成聚酰亚胺层；

在所述聚酰亚胺层上形成背电极；

在所述背电极上形成功能层；

在所述功能层上形成栅电极，得到层叠件；及

将所述层叠件在80℃～100℃下加热处理，以使所述聚酰亚胺层与所述界面层自行分离，得到柔性薄膜太阳能电池，其中，界面层的厚度为300纳米～1200纳米。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述在刚性的基板上形成界面层的方法为磁控溅射，工艺参数为：靶材为钼，氩气气氛，所述氩气的流量为18sccm～25sccm，溅射功率为1600瓦～2000瓦，气压为0.01Pa～0.3Pa，溅射3次～12次，溅射厚度为300纳米～1200纳米。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述在所述界面层上形成聚酰亚胺层的步骤为：在保护性气体的气氛下，将4,4'-二氨基二苯醚和3,3',4,4'-二苯酮四酸二酐在溶剂中反应，得到聚酰胺酸溶液；将所述聚酰胺酸溶液涂覆在所述界面层上，再在460℃～470℃下退火处理，形成聚酰亚胺层，其中，所述4,4'-二氨基二苯醚和所述3,3',4,4'-二苯酮四酸二酐的摩尔比为1:0.8～1:1.2。

4.根据权利要求3所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述将所述聚酰胺酸溶液涂覆在所述界面层上的步骤之后，所述退火处理的步骤之前，还包括对涂覆有所述聚酰胺酸溶液的所述界面层进行干燥以去除所述溶剂的步骤：将涂覆有所述聚酰胺酸溶液的所述界面层在50℃～55℃下保温10分钟～15分钟，再升温至60℃～70℃，并保温2小时～3小时。

5.根据权利要求3所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述退火处理的步骤为：在保护气体的气氛中，将涂覆有所述聚酰胺酸溶液的所述界面层在195℃～205℃下保温1小时～1.5小时，接着升温至350℃～370℃，并保温1小时～1.5小时，再升温至460℃～470℃，并保温30分钟～40分钟，然后自然冷却。

6.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述在所述背电极上形成功能层的步骤为：在所述背电极上形成吸收层，再在所述吸收层上形成缓冲层，接着在所述缓冲层上依次形成阻挡层和窗口层，得到所述功能层，其中，所述栅电极形成在所述窗口层上。

7.根据权利要求6所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述吸收层的材料为铜铟镓硒薄膜。

8.根据权利要求7所述的柔性薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述背电极上形成所述吸收层的方法为分子束外延法：先在气压为7.2×10^-3Pa～1.2×10^-2Pa的条件下，同时通入温度为820℃～830℃的铟单质蒸发源、温度为920℃～925℃的镓单质蒸发源和温度为200℃～220℃的硒单质蒸发源，所述基板的温度为350℃～370℃，沉积时间为30分钟～35分钟；然后在气压为1.2×10^-2Pa～2.1×10^-2Pa的条件下，同时通入温度为1250℃～1300℃的铜单质蒸发源和温度为200℃～220℃的硒单质蒸发源，所述基板的温度为480℃～500℃，沉积时间为15分钟～20分钟；接着在气压为2.5×10^-2Pa～2.8×10^-2Pa的条件下，同时通入温度为750℃～770℃的铟单质蒸发源、温度为850℃～860℃的镓单质蒸发源和温度为200℃～220℃的硒单质蒸发源，所述基板的温度为480℃～500℃，沉积时间为15分钟～20分钟。