[发明专利]真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法

权利要求书

1.一种真空泵，其利用旋转体的旋转对气体进行吸气及排气，上述真空泵的特征在于，

上述旋转体具备：构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体、在外周面以多级配置有多个动翼且构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体、用于紧固连结于旋转轴的贯通孔，

由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面、以及上述第1圆筒体的外表面构成为放射率小于上述动翼的表面的低放射率部，

上述贯通孔具有与封堵该贯通孔的盖部件接触的接触面，该接触面与上述盖部件接触从而封堵高放射表面处理液向上述贯通孔的进入，对上述第2圆筒体的外表面以及上述动翼的表面进行高放射表面处理而设置高放射率部，从而上述接触面以及上述圆筒内表面构成为放射率小于上述动翼的表面的低放射率部。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述低放射率部和上述高放射率部之间存在中间部，该中间部具备比上述低放射率部的放射率大并且比上述高放射率部的放射率小的放射率。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述高放射率部与上述低放射率部各自的设计范围中的某一方的设计范围内存在具备比上述低放射率部的放射率大并且比上述高放射率部的放射率小的放射率的中间部，从而另一方的设计范围内仅由不包括上述中间部的上述高放射率部或者上述低放射率部构成。

4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

上述动翼中的最下级的上述动翼的表面构成为上述低放射率部。

5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述动翼中的最下级的上述动翼中，在与上述螺纹槽泵机构部的固定部件对置的面上构成有上述低放射率部。

6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述动翼中的最下级的上述动翼与上述螺纹槽泵机构部的固定部件之间配置有遮挡部件，在上述遮挡部件上构成有上述低放射率部。

7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述动翼中的泵轴心方向的上述动翼之间设有静翼，

上述静翼具备外轮辋，上述外轮辋用于在该外轮辋的外周部以及／或者该外周部的附近处被支承，

上述外轮辋的上下表面、外周面中的至少某一个面构成为上述低放射率部。

8.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在上述动翼中的泵轴心方向的上述动翼间设有静翼，

上述静翼具备外轮辋，上述外轮辋用于在该外轮辋的外周部以及／或者该外周部的附近处被支承，

上述外轮辋通过将多个轮辋部件对接并接合，从而整体形成为环状，

上述轮辋部件的对接面构成为上述低放射率部。

9.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

上述低放射率部利用在第1低放射率部上层叠第2低放射率部而成的多层构造而构成。

10.一种真空泵的静翼的制造方法，该真空泵是如权利要求1至9中任一项所述的真空泵，所述真空泵的静翼的制造方法的特征在于，

设于上述动翼之间的静翼的外轮辋通过将多个轮辋部件对接并接合，从而整体形成为环状，

以对接并接合了上述轮辋部件的状态对上述静翼实施上述高放射率表面处理，从而上述轮辋部件的对接面成为具有比利用上述高放射率表面处理形成于上述静翼的表面的高放射率部低的放射率的状态。