[发明专利]一种动态形变可控微镜

权利要求书

1.一种动态形变可控微镜，其特征在于，所述微镜包括微镜镜面的可动部分，所述可动部分包括：

外镜(10)，所述外镜(10)具有第一结构；

内镜(11)，所述内镜(11)具有第二结构；

所述第一结构和第二结构相互分离，且通过具有第三结构的连接机构(12)连接；所述第一结构，第二结构，第三结构是通过在晶圆表面上蚀刻具有第四结构的凹槽后形成的一体结构；所述第一结构和所述第二结构表面具有高反射率镜面层。

2.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述第三结构设置于所述第一结构的动态形变最小处。

3.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述外镜(10)通过扭转轴(13)与外部固定锚点相连，所述扭转轴(13)具有第一劲度系数K1，所述微镜具有第一转动惯量I1，所述微镜固有转动频率F1由所述第一劲度系数K1和第一转动惯量I1决定；所述连接机构(12)具有第二劲度系数K2，所述内镜(11)和连接机构(12)具有第二转动惯量I2，所述内镜(11)和所述连接机构(12)构成的转子结构的固有频率F2由所述第二劲度系数K2和第二转动惯量I2决定，通过调整所述连接机构(12)所具有的第三结构使所述微镜固有转动频率F1小于所述转子的固有频率F2。

4.根据权利要求3所述的微镜，其特征在于，所述第四结构为晶圆上以所述扭转轴13所在的直线为对称轴的两个相互对称的半圆形槽。

5.根据权利要求4所述的微镜，其特征在于，所述半圆形槽具有第一宽度H1和第一半径R1，单个半圆形槽两个端点的连线与对称轴平行，并且两个半圆槽之间的具有第一距离L1，所述第一宽度H1、第一半径R1和第一距离R1定义了微镜镜面结构的基本形状和尺寸；其中，第一半径R1定义了内镜(11)的尺寸；第一宽度H1和第一距离L1定义了连接机构(12)的长度和宽度。

6.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述第四结构为晶圆上以所述内镜中心为对称点，在同一圆周蚀刻的四个弧形槽。

7.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，所述四个弧形槽分为两组，每组中的两个弧形型槽关于的内镜中心的对称点相互对称，相邻弧形槽之间的部分形成连接机构14；所述弧形槽具有第二宽度H2和第二半径R2，并且相邻两个弧形槽之间的具有第二距离L2，所述第二宽度H2、第二半径R2和第二距离R2定义了微镜镜面结构的基本形状和尺寸；其中，第二半径R2定义了内镜的尺寸；第二宽度H2和第二距离L2定义了连接机构14的长度和宽度，外镜的尺寸由选择性蚀刻过程定义的外镜尺寸来决定。

8.如权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述的第四结构包括晶圆上以内镜中心为对称点，相互镜像对称的第一槽和第二槽、以及相互对称的第三槽和第四槽结构。

9.如权利要求8所述的微镜，其特征在于，所述第一槽和第二槽结构所具有的形状通过如下步骤获得：设置外径为RA，内径为RB的圆环，使用半径为RC的圆弧对所述圆环进行切割,所述切割圆弧与所述圆环围成两个部分，劣弧段所在的部分即为第一槽；第二槽与所述第一槽关于所述内镜中心镜像对称；

和/或，

所述第三槽和第四槽结构所具有的形状通过如下步骤获得：设置抛物线，在所述抛物线焦点同侧的对称轴上设置圆心,设置半径为RD的圆，所述半径为RD的圆与抛物线顶点所在部分围成的图形构成第三槽；所述第三槽与第四槽关于所述内镜中心镜像对称。