[发明专利]一种光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法在审

专利信息
申请号: 201711111675.3 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN108151653A 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 李彬华;任康桥;胡泊;王锦良 申请(专利权)人: 昆明理工大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B11/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 650093 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 莫尔条纹信号 光栅 正余弦信号 误差检测 修正 圆光栅测角系统 光学精密测量 光栅测量系统 幅值偏差 模型参数 内在关系 实时补偿 实时查看 数学模型 相位偏差 直流分量 样本点 正交的 分辨率 采样 求解 处理器 栅距 采集 输出 移动 表现
【权利要求书】:

1.一种光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法,其特征在于:首先将光栅输出的两个正交的正余弦信号经过处理器采样,得到光栅每移动一个栅距的莫尔条纹信号,表现为一个周期的正余弦信号,并建立数学模型,利用采集到的数据与模型参数的内在关系,求解实际信号当中的位置信息样本点幅值偏差系数、直流分量、相位偏差,实时查看信号质量是否符合细分要求,如果不满足,则对上述误差进行实时补偿,得到修正后的莫尔条纹信号。

2.根据权利要求1所述的光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法,其特征在于:所述方法的具体步骤如下:

Step1、首先利用莫尔条纹信号采集装置对光栅输出的正余弦信号进行采样,得到一组具有不理想信号成分的位置信息样本点(u1m,u2m);

Step2、根据位置信息样本点建立数学模型;根据公式(1)得到模型公式(2);

其中,K为放大系数,p和q为位置信息样本点两路正余弦信号的直流分量,为位置信息样本点相位偏差;

Step3、位置信息样本点(u1m,u2m)满足模型公式(2),用最小二乘法拟合出模型便可得到椭圆方程系数A~E;其中,G为位置信息样本点幅值偏差系数:

Step4、根据公式(3)得到如下计算式(4),根据公式(4)计算出实际信号当中的位置信息样本点的幅值偏差系数G、位置信息样本点两路正余弦信号的直流分量直流分量p和q、位置信息样本点的相位偏差

Step5、判断信号质量,如果p、q、G小于或等于信号质量阈值,目前采样的信号质量满足后续细分处理要求,则直接进行细分;否则,认为信号质量不好,转到Step6:其中信号质量阈值分别取0.6%、1.2%、0.7°,即p、q≤0.6%,G≤1.2%,

Step6、进行信号修正,利用公式(5)进行修正计算;

对补偿后的莫尔条纹信号循环执行Step1-5直到信号质量满足后续细分处理要求,最终获得修正后的莫尔条纹信号(u1d,u2d)。

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