[发明专利]一种用于多晶金刚线切硅片表面处理的酸性制绒添加剂及其使用方法在审
| 申请号： | 201711111997.8 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN108103584A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 姜翰钦;吴金丹;周小国 | 申请（专利权）人： | 德清丽晶能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 王晓雯 |
| 地址： | 312300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚线 多晶 硅片表面处理 制绒添加剂 重量百分比 酸性溶液 硝酸 氢氟酸 添加剂 甲基吡咯烷酮 草酸 离子水溶液 酸性制绒剂 后处理 环境负担 均匀性好 聚合物 反射率 无机酸 硅片 绒面 无毒 刺激 | ||
1.一种用于多晶金刚线切硅片表面处理用的酸性制绒添加剂，其特征在于以重量百分比计包含以下组分：草酸 0.5-5%，N-甲基吡咯烷酮 1-10%，含N聚合物 0.1-3%，余量为水。
2.根据权利要求1所述的酸性制绒添加剂，其中所述的含N聚合物为聚乙烯亚胺，聚乙烯胺，乙烯基吡咯烷酮-乙烯基咪唑的共聚物的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的酸性制绒添加剂，其中所述的水为去离子水。
4.一种用于多晶金刚线切硅片表面处理用的酸性制绒剂，其特征在于包含权利要求1-3所述的酸性制绒添加剂和酸性溶液，其中所述的酸性溶液为氢氟酸和硝酸的去离子水溶液，其中氢氟酸的重量百分比为5-10%，硝酸的重量百分比为20-60%。
5.根据权利要求4所述的酸性制绒剂，其特征在于权利要求1-3所述的酸性制绒添加剂和酸性溶液的重量比为0.1-3:100。
6.一种用于多晶金刚线切硅片表面处理的方法，其特征在于包含以下步骤：
（1）将氢氟酸和硝酸溶于去离子水中，其中氢氟酸的重量百分比为5-10%，硝酸的重量百分比为40-80%；
（2）将权利要求1-3所述的酸性添加剂加入步骤（1）中的酸性溶液中，得到制绒剂，其中酸性添加剂与酸性溶液的重量比为0.1-3:100；
（3）将多晶金刚线切硅片浸入步骤（2）中的酸性制绒液进行制绒，制绒温度为0-20℃，制绒时间为60-300s。
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