[发明专利]微激光精密加工装置

说明书

本发明公开了一种微激光精密加工装置，其包括激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口，压力流体腔和喷嘴微孔，经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴，激光器采用功率范围在瓦级—百瓦级的激光器，可见光光源可采用普通白光光源，扩束准直器采用倒置望远镜结构的扩束准直器。本发明克服了现有水导激光系统存在对激光焦点和喷嘴微孔中心点的耦合要求高、难以检测等缺点，对工件表面的平整度适应性强，且沿光轴方向既不需要精密聚焦，也无需考虑齐焦的问题，可实现理想的激光精密切割、打孔等加工。

技术领域

本实用涉及一种精密加工装置，特别是涉及微激光精密加工装置。

背景技术

传统激光加工中对工件的有效加工厚度较小、加 工面存在锥度及粗糙等问题，但由于采用了聚焦透镜，要求聚焦透镜焦点与喷嘴微孔中心严 格耦合，此外，现有水导引激光系统存在无可见光同轴定位指示，系统装配与调节困难，加 工定位不精确，无法实现随机检测等缺点。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种微激光精密加工装置。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种微激光精密加工装置，其包括激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱 镜、光学窗口，所述压力流体腔和喷嘴微孔，所述平面镜位于激光器及可见光光源前方，所述激光器发射的激光束与可见光光源光束经平面镜耦合，所述扩束准直器位于平面镜前方，所述旋转三棱镜位于扩束准直器前方，所述压力流体腔位于旋转三棱镜前方，所述光学窗口设于压力流体腔顶部，所述喷嘴微孔设于压力流体腔底部，所述经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴，所述激光器采用功率范围在瓦级—百瓦级的激光器，所述可见光光源可采用普通白光光源，所述扩束准直器采用倒置望远镜结构的扩束准直器。

优选地，所述激光器采用功率范 围在瓦级至百瓦级的激光器。

优选地，所述可见光光源为普通 白光光源或低功率可见光波段激光。

优选地，所述扩束准直器为倒置 望远镜结构的扩束准直器。

本发明的积极进步效果在于：本发明克服了现有水导激光系统存在对激光焦点和喷嘴微孔中心点的耦合要求高、难以检测等缺点，同时保留了现有水导引激光加工装置加工距离长、无热影响区等优点。利用无衍射光束对工件进行加工时，加工深度的动态范围大，在无衍射范围内对工件位置误差 的敏感度为零，对工件表面的平整度适应性强，且沿光轴方向既不需要精密聚焦，也无需考虑齐焦的问题，可实现理想的激光精密切割、打孔等加工。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

其中，激光器1、可见光光源2、平面镜3、扩束准直器4、旋转三棱 镜5、光学窗口6，压力流体腔7和喷嘴微孔8。

具体实施方式

下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。

如图1所示，一种微激光精密加工装置，其包括激光器1、可见光光源2、平面镜3、扩束准直器4、旋转三棱 镜5、光学窗口6，压力流体腔7和喷嘴微孔8，平面镜3位于激光器1及可见光光源2前方，激光器1发射的激光束与可见光光源2光 束经平面镜3耦合，扩束准直器4位于平面镜3前方，旋转三棱镜5位于扩束准直器4前方，压力流体腔7位于旋转三棱镜5前方，光学窗口6设于压力流体腔7顶部，喷嘴微孔8设于压力流体腔7底部，经平面镜3耦合后的光束与扩束准直器4、旋转三棱镜5、光学窗口6及喷嘴微孔8同轴。所述激光器1采用功率范围在瓦级—百瓦级的激光器。所述可见光光源2 可采用普通白光光源，扩束准直器4采用倒置望远镜结构的扩束准直器。

激光器采用功率范围在瓦级至百瓦级的激光器。

可见光光源为普通白光光源或低功率可见光波段激光。