[发明专利]检测装置

说明书

本发明提供一种检测装置，其包括：基板，具有第一表面及第二表面，第一表面与第二表面相对设置；开关元件，设置于第一表面上；感光元件，设置于第一表面上且与开关元件电性连接；以及第一线路，设置于第二表面上，其中基板具有第一导通孔，开关元件透过第一导通孔与第一线路电性连接。

技术领域

本发明是有关于一种检测装置及其制造方法，特别是有关于光检测装置及其制造方法。

背景技术

光检测装置普遍应用于手机、平板电脑或笔记型电脑等电子装置中。此外光检测装置也广泛应用于医疗诊断辅助工具，例如，X光检测装置(X-ray detector)应用于人体乳房组织或心血管的摄影等。X光检测装置主要包含光电二极管(photodiode)以及薄膜晶体管(thin-film transistor，TFT)，其中光电二极管可作为将光能转换成电子信号的感测元件，而薄膜晶体管可作为读取电子信号及控制像素驱动的开关元件。

在光检测装置中，电子信号会直接地影响产生的影像品质，因此，降低噪声(noise)的干扰为提升光检测装置的影像品质的有效方式。噪声可能源自于薄膜晶体管的栅极与资料线(data line)之间所产生的电容、资料线与扫描线(scanning line)之间所产生的电容、漏极及源极与栅极之间产生的电容、或者是资料线、扫描线、漏极、源极、栅极元件的自身所产生的电阻等。其中，资料线的电阻及其与其它元件产生的电容为噪声的主要来源之一。理论上，可借由降低资料线本身的电阻，如选用低电阻值的材料或增加资料线的厚度来减少噪声的产生，或可借由降低资料线与其它元件之间的电容，如减少资料线的宽度、增加资料线与光电二极管的距离等来减少噪声的产生。然而，上述降低噪声的方式可能会影响光检测装置的有效面积降低，其存在权衡关系。

因此，如何降低光检测装置中的噪声产生，且降低光检测装置的效能，乃目前业界所致力的课题之一。

发明内容

在一些实施例中，本发明提供一种检测装置，其包括：一基板，具有一第一表面及一第二表面，该第一表面与该第二表面相对设置；一开关元件，设置于该第一表面上；一感光元件，设置于该第一表面上且与该开关元件电性连接；以及一第一线路，设置于该第二表面上，其中该基板具有一第一导通孔，该开关元件透过该第一导通孔与该第一线路电性连接。

在另一些实施例中，本发明提供一种监测装置，其包括：一基板，具有一第一表面及一第二表面，该第一表面与该第二表面相对设置；一开关元件，设置于该第二表面上；以及一感光元件，设置于该第一表面上，其中该基板具有一第一导通孔，该开关元件透过该第一导通孔与该感光元件电性连接。

附图说明

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明，其中：

图1A根据本发明一些实施例中，检测装置局部结构的剖面示意图；

图1B根据本发明一些实施例中，检测装置的上视示意图；

图2A根据本发明一些实施例中，检测装置局部结构的剖面示意图；

图2B根据本发明一些实施例中，检测装置的上视示意图；

图3根据本发明一些实施例中，检测装置局部结构的剖面示意图；

图4A至4C根据本发明一些实施例中，检测装置中线路与导电垫连接方式的示意图；

图5A至5J根据本发明一些实施例中，检测装置在制程中不同阶段的局部结构的剖面示意图。

符号说明：

100、300、500 检测装置

102 基板

102a 第一表面

102b 第二表面