[发明专利]环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置及利用该装置进行检测的方法

权利要求书

1.一种环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：该装置由工件环(1)、1个激光位移传感器(2)、数个光电位置传感器(3)和固定板(4)构成；

所述工件环(1)与固定板(4)平行设置，工件环(1)设置于固定板(4)下方，工件环(1)上表面设置有盲孔(11)，激光位移传感器(2)设置于盲孔(11)内部，且激光位移传感器(2)与工件环(1)上表面垂直设置，激光位移传感器(2)的感应端朝向固定板(4)设置；数个光电位置传感器(3)以环形阵列的方式设置于固定板(4)的下表面，光电位置传感器(3)的感应端朝向工件环(1)设置，光电位置传感器(3)的环形阵列的中心与工件环(1)的中心相对应；光电位置传感器(3)的感应端中心与激光位移传感器(2)的感应端中心对应设置。

2.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述工件环(1)上表面与固定板(4)下表面的平行度＜5μm。

3.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述工件环(1)上表面与固定板(4)下表面的垂直距离为300～400mm。

4.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述固定板(4)下表面的平面度＜5μm。

5.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述光电位置传感器(3)在3mm×3mm的范围内的定位精度＜3μm。

6.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述激光位移传感器(2)与工件环(1)的垂直度＜5μm。

7.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述光电位置传感器(3)通过真空吸盘吸附于固定板(4)的下表面。

8.根据权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置，其特征在于：所述激光位移传感器(2)的检测精度＜3μm。

9.一种利用如权利要求1所述的环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测装置进行单点运动轨迹检测的方法，其特征在于：该方法按以下步骤进行：

一、调整工件环(1)上表面与固定板(4)下表面的平行度＜5μm；

二、调整激光位移传感器(2)的水平位置使光电位置传感器(3)的感应端中心与激光位移传感器(2)的感应端中心竖向对应；

三、启动工件环(1)，在激光位移传感器(2)随工件环(1)转动过程中，利用光电位置传感器(3)记录激光位移传感器(2)所在位置中心点的平面坐标数据x和y，同时利用激光位移传感器(2)记录激光位移传感器(2)所在位置中心点的竖直高度变化z；

四、将光电位置传感器(3)记录的平面坐标数据x和y绘制成激光位移传感器(2)所在位置中心点的平面运动轨迹图，将光电位置传感器(3)和激光位移传感器(2)记录的平面坐标数据x和y以及竖直高度变化z绘制成激光位移传感器(2)所在位置中心点的三维运动轨迹图；即完成环抛加工中工件环上单点运动轨迹检测。