[发明专利]一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，其包括：

在多晶硅还原炉钟罩取下的情况下，将冷却气体通入还原炉内，所述冷却气体由所述多晶硅还原炉的中部向四周吹扫，使所述冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量；其中，所述冷却气体的温度高于环境温度，所述冷却气体的温度低于最靠近多晶硅还原炉中部的硅棒的温度。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却方法还包括加热步骤，所述加热步骤包括对还未进入所述多晶硅还原炉的所述冷却气体进行加热。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却方法还包括净化步骤，所述净化步骤包括使用过滤器对还未进入所述多晶硅还原炉的所述冷却气体进行过滤净化。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却气体通入所述多晶硅还原炉时的温度比所述多晶硅还原炉内最靠近中部的硅棒温度低10℃以上。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，经过加热的冷却气体通过管道输送到所述多晶硅还原炉，所述管道的端部连通吹气装置，所述吹气装置为管状，所述吹气装置的一端连通所述管道，所述吹气装置的侧壁设置有喷头，所述吹气装置沿竖直方向插入到所述多晶硅还原炉中部，并由所述多晶硅还原炉的中心向外侧吹气。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却气体通过管道输送到所述多晶硅还原炉，所述管道上设置加热装置，所述冷却方法包括利用测温仪检测所述多晶硅还原炉内最靠近中心的硅棒温度，并将所述测温仪与控制器电连接，所述控制器与加热装置电连接，所述控制器根据硅棒温度数据并控制所述加热装置的加热温度始终低于所述硅棒温度。

7.一种多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，其包括空气抽运泵、加热装置以及吹气装置，所述空气抽运泵、所述加热装置以及所述吹气装置通过管道连通，所述吹气装置用于在多晶硅还原炉中由内向外吹送冷却气体；所述吹气装置包括围成腔体的侧壁，所述侧壁上设置有用于将所述吹气装置内的所述冷却气体喷出的喷头。

8.根据权利要求7所述的多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，所述吹气装置为管状，所述吹气装置的一端与所述管道连通，所述吹气装置的另一端封闭；多个所述喷头在所述吹气装置的长度方向上间隔排列设置。

9.根据权利要求7或8中所述的多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，所述多晶硅还原炉冷却系统还包括控制器和测温仪，所述加热装置与所述测温仪分别与所述控制器电连接，所述测温仪用于检测多晶硅还原炉中硅棒的温度；所述控制器能够根据所述测温仪反馈的温度信息，控制所述加热装置的功率以调节通入所述多晶硅还原炉的冷却气体的温度。