[发明专利]二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂及制备方法有效
| 申请号： | 201711119184.3 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107903249B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李俊莉;张颖;程雯;黄婷;任海晶;王晓晖 | 申请（专利权）人： | 陕西省石油化工研究设计院 |
| 主分类号： | C07D405/14 | 分类号： | C07D405/14;C23F11/14 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 高雪霞 |
| 地址： | 710054*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 乙基 三氮唑 长碳链 烯烃 咪唑 啉缓蚀剂 制备 方法 | ||
1.一种二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂，其特征在于该缓蚀剂的结构式如下所示：
式中R代表10-十九碳烯基、十五碳烯基、8,11-十七碳二烯基、十一碳烯基、8-十七碳烯基、10,13-十九碳二烯基、8,11-十五碳二烯基、12-二十一碳烯基、10-二十一碳烯基、9-十六碳烯基中的任意一种。
2.一种权利要求1所述的二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：将4-羧基苯并三氮唑和四亚乙基五胺加入二甲苯中，在微波条件下，先70～80℃搅拌反应5～10分钟，然后加入长碳链烯羧酸，120～140℃回流反应30～40分钟，再升温至160～180℃减压回流反应20～30分钟，冷却，旋转蒸发除去二甲苯，得到二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂；
上述的长碳链烯羧酸的结构式为R-COOH，其中R代表10-十九碳烯基、十五碳烯基、8,11-十七碳二烯基、十一碳烯基、8-十七碳烯基、10,13-十九碳二烯基、8,11-十五碳二烯基、12-二十一碳烯基、10-二十一碳烯基、9-十六碳烯基中的任意一种。
3.根据权利要求2所述的二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述4-羧基苯并三氮唑与四亚乙基五胺、长碳链烯羧酸的摩尔比为1:2～2.5:1。
4.根据权利要求2所述的二亚乙基胺-(2-苯并三氮唑)-(2′-长碳链烯烃基)双咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述微波的功率为100～600W。
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