[发明专利]基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜

权利要求书

1.基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，包括光源组件、单模光纤耦合组件、光束扫描组件、反射式支架(4-1)、信号采集组件和计算机，所述光束扫描组件包括微机电扫描振镜(3-4)和函数发生器(3-5)，所述函数发生器(3-5)分别与所述计算机和所述微机电扫描振镜(3-4)连接，所述计算机通过所述函数发生器(3-5)控制所述微机电扫描振镜(3-4)转动；所述计算机与所述光源组件和信号采集组件电气连接，控制所述光源组件发射脉冲激光和保存并处理所述信号采集组件采集的数据；所述反射式支架(4-1)为内部充满透明的超声耦合液(4-2)的封闭腔体，包括进光口(4-5)和出光口(4-4)，目标物体设置在所述出光口(4-5)，所述反射式支架(4-1)内设置有透光反声的薄片(4-3)；

所述光源组件发射的脉冲激光通过所述单模光纤耦合组件准直后进入所述光束扫描组件并照射到所述微机电扫描振镜(3-4)表面，经所述微机电扫描振镜(3-4)反射后从所述反射式支架(4-1)的进光口(4-5)进入所述反射式支架(4-1)，从所述反射式支架(4-1)的出光口(4-4)射出并照射在目标物体表面产生光声信号；所述光声信号经过所述反射式支架(4-1)内透光反声的薄片反射后被所述信号采集组件采集。

2.根据权利要求1所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述反射式支架(4-1)的进光口(4-5)和出光口(4-4)均利用透明材料密封，所述脉冲激光经过所述透明材料不损失能量。

3.根据权利要求1所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述光源组件包括脉冲激光器(1)，所述脉冲激光器(1)产生脉宽在1ns-10ns之间，重频在1Khz-100Khz之间，波长根据成像目标确定的脉冲激光。

4.根据权利要求1所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述单模光纤耦合组件包括空间光滤波器(2-1)、准直透镜(2-2)、物镜(2-3)、单模光纤耦合调整架(2-4)、单模光纤(2-5)和单模光纤准直透镜(2-6)，所述脉冲激光器(1)、空间光滤波器(2-1)、准直透镜(2-2)、物镜(2-3)和单模光纤耦合调整架(2-4)共轴安装，所述脉冲激光依次通过所述空间光滤波器(2-1)、准直透镜(2-2)、物镜(2-3)和单模光纤耦合调整架(2-4)后进入所述单模光纤(2-5)，经所述单模光纤(2-5)后的脉冲激光通过所述单模光纤准直透镜(2-6)进入所述光束扫描组件。

5.根据权利要求1所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述光束扫描组件还包括透镜(3-2)和反射棱镜(3-3)，所述进入光束扫描组件的脉冲激光经所述透镜(3-2)聚焦后再经过所述反射棱镜(3-3)反射至所述微机电扫描振镜(3-4)表面。

6.根据权利要求4或5所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述光束扫描组件还包括光路支架(3-1)，所述单模光纤准直透镜(2-6)、透镜(3-2)、反射棱镜(3-3)和微机电扫描振镜(3-4)共轴安装在所述光路支架上。

7.根据权利要求1所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述信号采集组件包括依次电气连接的超声探测器(5-1)、信号放大器(5-2)和数据采集卡(5-3)，所述超声探测器(5-1)设置在所述反射式支架(4-1)上，其接收器穿过所述反射式支架(4-1)的侧壁与所述超声耦合液(4-2)接触，所述超声探测器(5-1)探测所述光声信号，所述光声信号经所述信号放大器(5-2)放大后被所述数据采集卡(5-3)采集，所述数据采集卡(5-3)与所述计算机(6)电气连接。

8.根据权利要求7所述的基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜，其特征在于，所述反射式支架(4-1)为矩形腔体，所述透光反射的薄片(4-3)分别与所述反射式支架(4-1)的出光口(4-4)所在的侧壁和设置所述超声探测器(5-1)的侧壁成45°角。