[发明专利]二极管模组

权利要求书

1.一种二极管模组，包括：

半导体基底层，具有一表面，该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区，该光纤接入区开设有光纤收容沟槽，该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区；

二极管外延层，形成于该外延层生长区，该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结，该PN结之间形成有多重量子井结构层；

及光波导，形成于该光波导固定区，该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。

2.如权利要求1所述的二极管模组，其特征在于，该半导体缓冲层为N型缓冲层，该PN结包括P型半导体层和N型半导体层，其中该N型半导体层相邻于该N型缓冲层。

3.如权利要求1所述的二极管模组，其特征在于，该半导体缓冲层为P型缓冲层，该PN结包括P型半导体层和N型半导体层，其中该P型半导体层相邻于该P型缓冲层。

4.如权利要求1所述的二极管模组，其特征在于，该光纤收容沟槽为V型沟槽、或横截面为长方形或多边形的沟槽。

5.如权利要求1所述的二极管模组，其特征在于，该光波导为薄膜波导。