[发明专利]一种反应液自动回收系统及方法

权利要求书

1.一种反应液自动回收系统，其特征在于，所述反应液自动回收系统包括：

源瓶，所述源瓶用于存储反应液；

输入管路，所述输入管路与所述源瓶连接，用于向所述源瓶中通入载气；

输出管路，所述输出管路连接所述源瓶和反应腔室，用于在工艺状态时向反应腔室通入由载气携带的源瓶中反应液的饱和蒸汽；以及，

回收管路，所述回收管路的一端连接在所述输出管路上，用于在非工艺状态时回收所述输出管路中的饱和蒸汽。

2.根据权利要求1所述的反应液自动回收系统，其特征在于，所述回收管路上设有冷凝器和存储瓶，所述冷凝器用于将所述回收管路中的饱和蒸汽变为液态的反应液；所述存储瓶用于收集由所述载气带入其中的反应液的饱和蒸汽变为液态的反应液。

3.根据权利要求2所述的反应液自动回收系统，其特征在于，还包括：排气管路，其连接在所述存储瓶和所述反应腔室的抽气管道之间，用于排出所述存储瓶内的载气。

4.根据权利要求2所述的反应液自动回收系统，其特征在于，还包括：补液管路和增压管路，所述补液管路连接在所述存储瓶和所述源瓶之间，用于在非工艺状态时将所述存储瓶中的反应液输入所述源瓶中，所述增压管路用于向所述存储瓶中通入气体，将所述存储瓶中的反应液压入所述源瓶中。

5.根据权利要求4所述的反应液自动回收系统，其特征在于，还包括：泄压管路，所述泄压管路连接在所述源瓶上。

6.一种反应液自动回收方法，其特征在于，包括：

当反应液自动回收系统处于非工艺状态时，保持输入管路打开，停止从输出管路向反应腔室输送载气携带的饱和蒸汽，并打开回收管路，使输出管路中的载气携带的饱和蒸汽进入所述回收管路，回收所述输出管路中的饱和蒸汽。

7.根据权利要求6所述的反应液自动回收方法，其特征在于，还包括：将所述回收管路中流经的载气排入反应腔室的抽气管道中。

8.根据权利要求6所述的反应液自动回收方法，其特征在于，还包括：

当反应液自动回收系统处于非工艺状态时，关闭输入管路、输出管路和回收管路，打开补液管路，将存储瓶中的反应液压入源瓶中。

9.根据权利要求8所述的反应液自动回收方法，其特征在于，还包括：通过增压管路向存储瓶中通入气体，以通过压力将存储瓶中的反应液挤压回源瓶中。

10.根据权利要求9所述的反应液自动回收方法，其特征在于，还包括：通过泄压管路泄掉随着源瓶中液位的升高、气体容积减小而产生的压力。