[发明专利]一种多通道阵列传感器

权利要求书

1.一种多通道阵列传感器，其特征在于，包括：

多个电极；和

分别与所述多个电极对应的多个敏感材料层，每一所述敏感材料层是由敏感材料施加在对应的电极上形成；

其中，每一所述电极的线宽和线距设置成根据施加在该电极上的敏感材料的预设基础电阻来调节；

每一敏感材料对应的电极的最佳线宽和最佳线距通过以下方法来确定：

在线宽和线距均不相同的多个电极上施加相同的敏感材料，以获取不同电极上的敏感材料的基础电阻；

比较不同电极上的敏感材料的基础电阻，以获取最佳基础电阻；

根据最佳基础电阻确定对应的电极，以获得该电极对应的线宽和线距，并将该电极对应的线宽和线距作为该敏感材料的最佳线宽和最佳线距；

所述多个敏感材料层上的敏感材料选择为完全相同、部分相同或完全不同；

且所述多个电极之间的线宽和线距设置成在所述多个敏感材料层上的敏感材料完全不同时选择完全相同、部分相同或者均不相同；

所述多个电极之间的线宽和线距设置成在所述多个敏感材料层上的敏感材料部分相同时选择完全相同、部分相同或者均不相同；

所述预设基础电阻为所述敏感材料的最佳基础电阻，以使得所述敏感材料达到最佳敏感性能。

2.根据权利要求1所述的多通道阵列传感器，其特征在于，所述电极为交叉齿状电极。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的多通道阵列传感器，其特征在于，还包括：

基底，用于在所述基底上进行刻蚀，以形成所述多个电极；

其中，所述基底的材料选自表面覆盖绝缘层的硅片、石英、陶瓷和塑料中的一种。

4.根据权利要求3所述的多通道阵列传感器，其特征在于，所述基底的形状为正方形或长方形。

5.根据权利要求4所述的多通道阵列传感器，其特征在于，所述基底的长度为范围在0.6-10mm之间的任一数值，宽度为范围在0.6-10mm之间的任一数值，厚度为范围在0.3-1mm。

6.根据权利要求1-2中任一项所述的多通道阵列传感器，其特征在于，所述电极的线宽为范围在1-100μm之间的任一数值，线距为范围在1-100μm之间的任一数值，厚度为范围在10nm-50μm之间的任一数值。