[发明专利]照明系统及光刻机

权利要求书

1.一种照明系统，用于提供环形照明，其特征在于，包括：光源组件、耦合透镜组、反射光阑和石英棒，所述光源组件包括光源和椭球碗，所述光源的光经所述椭球碗反射后依次经所述耦合透镜组和反射光阑至所述石英棒，所述反射光阑的反射面与所述石英棒的入光端面成一定夹角，穿过所述反射光阑的通光口的光束入射至石英棒，未穿过的光束经所述反射光阑反射后返回至所述椭球碗，经所述椭球碗再次反射后入射至所述石英棒。

2.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑的反射面与所述石英棒的入光端面夹角范围为0-20°。

3.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑呈喇叭式围设在所述石英棒的入光端面周围，并与所述石英棒的入光端面匹配连接。

4.如权利要求3所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑的外表面为所述反射光阑的反射面，沿光轴方向上所述反射光阑后端面的尺寸大于所述反射光阑前端面的尺寸，所述反射光阑前端面的尺寸不大于所述石英棒的入光端面的尺寸。

5.如权利要求3所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑的内表面为所述反射光阑的反射面，沿光轴方向上所述反射光阑前端面的尺寸大于所述反射光阑后端面的尺寸，所述反射光阑后端面的尺寸不大于所述石英棒的入光端面的尺寸。

6.如权利要求3、4或5所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑的反射面为平面。

7.如权利要求3、4或5所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑的反射面为曲面。

8.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述石英棒截面的形状为多边形或圆形。

9.如权利要求3、4或5所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑包括多片反射镜，多片所述反射镜依次拼接，且首片与末片相连。

10.如权利要求9所述的照明系统，其特征在于，所述照明系统还包括导轨，所述反射镜设置在所述导轨上，且能够沿着所述导轨相对于所述石英棒移动以调整所述反射光阑的通光口的大小。

11.如权利要求9所述的照明系统，其特征在于，所述照明系统还包括旋转调整机构，用于调整所述反射镜与所述石英棒的截面之间的夹角。

12.如权利要求3、4或5所述的照明系统，其特征在于，所述反射光阑包括一体成型的反射罩。

13.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述照明系统还包括中继组件，经所述石英棒后的光通过所述中继组件进入照明对象。

14.如权利要求13所述的照明系统，其特征在于，所述照明系统还包括可变狭缝组件，经所述石英棒后的光通过所述可变狭缝组件和中继组件进入照明对象。

15.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-14中任一项所述的照明系统。