[发明专利]基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器

说明书

本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器，包括探测器外壳和设置在该探测器外壳一侧外壁上的锥形筒，所述探测器外壳在与锥形筒连接位置嵌设有半导体材料片；所述探测器外壳正对半导体材料片的一侧外壁上设有探针光通光孔，在该探针光通光孔一侧安装有光电探测器；所述探测器外壳内部设有分光器件，在该分光器件两侧分别设有第一平面镜和第二平面镜，分光器件能够对由探针光通光孔引入的探针光进行分束，其中一束经第一平面镜反射，另一束由半导体材料片反射，两束光干涉并经第二平面镜反射后，能够被光电探测器接收。本发明可以有效避免电磁干扰，并能够对X射线进行高速探测，具有抗干扰能力强，响应速度快，可靠性好等优点。

技术领域

本发明涉及光学元件装配辅助装置，具体涉及基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器。

背景技术

在等离子体相关实验与实际应用场景中，X射线是重要的诊断工具和探测对象，而有的实验关键过程持续时间仅为几十到几百皮秒，因此对X射线进行高速探测有着重要意义。在实验过程中，传统诊断仪器和设备通常是使用电信号进行诊断，即射线辐射半导体，产生相应的电信号，通过电信号的变化得出X射线的变化进而获取相应的物态信息，诊断过程中容易受到电磁干扰，从而影响诊断结果的准确性。并且，由于以电信号为媒介，现有设备也难以实现对X射线的高速探测。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器，能够有效避免电磁干扰，并且可以对X射线进行高速探测。

其技术方案如下：

一种基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器，包括探测器外壳和设置在该探测器外壳一侧外壁上的锥形筒，所述探测器外壳在与锥形筒连接位置嵌设有半导体材料片，由锥形筒引入的X射线能够辐照到该半导体材料片上；所述探测器外壳正对半导体材料片的一侧外壁上设有探针光通光孔，用于连接探针光光源，在该探针光通光孔一侧安装有光电探测器；所述探测器外壳内部设有分光器件，在该分光器件两侧分别设有第一平面镜和第二平面镜，分光器件能够对由探针光通光孔引入的探针光进行分束，其中一束经第一平面镜反射，另一束由半导体材料片反射，两束光干涉并经第二平面镜反射后，能够被光电探测器接收。

上述结构利用半导体材料片3受到X射线辐照时的光学特性变化，进行X射线探测诊断，相比传统以电信号为媒介的探测器，能够有效避免电磁干扰，提高诊断结果的准确性，同时，由于使用光来进行诊断，能够满足X射线的高速探测需要。

为保证半导体材料片的反射性能，所述半导体材料片正对分光器件的一侧表面镀有铝。

所述锥形筒内置有可以遮挡可见光，同时透过X射线的遮光板，以避免可见光对探测结果造成影响。

所述半导体材料片经封装后可拆卸地安装在探测器外壳外壁上，这样能够方便半导体材料片的更换。

所述分光器件优选为分光棱镜或分光片，以确保其具有稳定可靠的分光性能。

半导体材料片的材质优选为砷化镓或硅。

有益效果：

采用以上技术方案的基于迈克尔逊干涉仪的X射线探测器，可以有效避免电磁干扰，并能够对X射线进行高速探测，具有抗干扰能力强，响应速度快，可靠性好等优点。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的使用状态参考图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图对本发明作进一步说明。