[发明专利]基于光纤耦合的光斑检测方法和系统

权利要求书

1.一种基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述光斑检测系统通过扫描的方式检测光斑的形状，包括光源、扫描装置、光纤以及光电探测器；所述光源用于发出输入光束，扫描装置、光纤、光电探测器沿光路方向依次设置；所述扫描装置用于驱使光纤对光斑进行连续扫描，所述光纤用于接收传输的光能量，所述光电探测器用于记录耦合能量值，光斑的形状和能量分布由耦合能量值进行反卷积运算得到。

2.如权利要求1所述的基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述系统还包括待检光学系统，所述待检光学系统设置于光路上，所述扫描装置设置于待检光学系统之前或之后，所述光纤设置于待检光学系统之后；

所述待检光学系统用于将光束经过第一变换后并输出到光纤端面。

3.如权利要求2所述的基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述第一变换包括扩束、准直、会聚中的一种或多种。

4.如权利要求1所述的基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述输入光束根据待检光学系统确定。

5.一种基于光纤耦合的光斑检测方法，其特征在于，所述方法应用于基于光纤耦合的光斑检测系统，所述光斑检测系统通过扫描的方式检测光斑的形状，包括光源、扫描装置、光纤以及光电探测器；所述光源、扫描装置、光纤、光电探测器沿光路方向依次设置；所述方法包括以下步骤：

光源发出输入光束，扫描装置驱使光纤对光斑进行连续扫描，光纤接收传输的光能量；

光电探测器记录耦合能量值；光斑的形状和能量分布由耦合能量值进行反卷积运算得到。

6.如权利要求5所述的基于光纤耦合的光斑检测方法，其特征在于，所述系统还包括待检光学系统，所述待检光学系统设置于光路上，所述扫描装置设置于待检光学系统之前或之后，所述光纤设置于待检光学系统之后；所述方法还包括步骤：

待检光学系统将光束经过第一变换后并输出到光纤端面。

7.如权利要求6所述的基于光纤耦合的光斑检测方法，其特征在于，所述第一变换包括扩束、准直、会聚中的一种或多种。

8.如权利要求5所述的基于光纤耦合的光斑检测方法，其特征在于，所述输入光束根据待检光学系统确定。

9.一种基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述光斑检测系统通过扫描的方式检测光斑的形状，包括光源、扫描装置、待检光学系统、反射镜以及光电探测器；所述光源、反射镜、待检光学系统、光电探测器沿光路依次设置；所述光电探测器上设置有光束限制元件；

所述光源用于发出输入光束，所述反射镜用于将光束反射至待检光学系统，所述待检光学系统用于将光束经过第一变换后并输出到光电探测器；

所述扫描装置设置于光电探测器位置，用于驱使光电探测器移动，以使得光束限制元件对光斑进行连续扫描，所述光束限制元件用于限制耦合的光能量；

所述光电探测器用于记录耦合能量值；光斑的形状和能量分布由耦合能量值进行反卷积运算得到。

10.如权利要求9所述的基于光纤耦合的光斑检测系统，其特征在于，所述光束限制元件包括圆形孔径。