[发明专利]介质窗组件及反应腔室有效
| 申请号： | 201711127873.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109801824B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王建龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 介质 组件 反应 | ||
1.一种介质窗组件，其特征在于，所述介质窗组件包括第一介质窗和第二介质窗；
所述第一介质窗与腔体壁形成封闭的腔室；
所述第二介质窗叠置在所述第一介质窗的背离所述腔室的一面上；
所述第一介质窗和所述第二介质窗均由绝缘材料制成；
所述第一介质窗和所述第二介质窗均为平板介质窗，或所述第一介质窗和所述第二介质窗均为桶状介质窗。
2.根据权利要求1所述的介质窗组件，其特征在于，所述第一介质窗和所述第二介质窗的材料不同。
3.根据权利要求1所述的介质窗组件，其特征在于，所述第一介质窗的厚度小于所述第二介质窗的厚度。
4.根据权利要求3所述的介质窗组件，其特征在于，所述第一介质窗的厚度范围为5mm～15mm；
所述第二介质窗的厚度范围为40mm～80mm。
5.根据权利要求1所述的介质窗组件，其特征在于，当所述第一介质窗和所述第二介质窗均为平板介质窗时；
所述第一介质窗和所述第二介质窗上设置有用于安装进气装置的通孔。
6.根据权利要求5所述的介质窗组件，其特征在于，所述介质窗组件还包括：第一密封件；
所述第一密封件用于密封所述第二介质窗上的通孔和所述进气装置之间的间隙。
7.根据权利要求5所述的介质窗组件，其特征在于，所述介质窗组件还包括：第二密封件；
所述第二密封件用于密封所述第一介质窗和所述第二介质窗之间的间隙，以及所述第一介质窗和所述腔室的腔室壁之间的间隙。
8.根据权利要求1所述的介质窗组件，其特征在于，当所述第一介质窗和所述第二介质窗均为桶状介质窗时，所述介质窗组件还包括：第三密封件；
所述第三密封件用于密封所述第一介质窗和/或所述第二介质窗与所述腔室的腔室壁之间的间隙。
9.一种反应腔室，其特征在于，包括介质窗组件和感应线圈，所述介质窗组件采用权利要求1-8任意一项所述的介质窗组件，以作为所述反应腔室的顶壁或者侧壁；
所述感应线圈设置在所述介质窗组件的外侧，用于与射频电源相连，以使射频电源提供的射频能量通过所述介质窗组件耦合至反应腔室内部激发工艺气体形成等离子体。
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