[发明专利]形成电子产品层的方法和设备

说明书

使用喷墨过程来将材料层沉积为期望厚度。布局数据被转换成每单元灰度值，每一个灰度值表示要局部输送的墨水体积。灰度值用于生成用于将可变墨水体积(和厚度)输送到衬底的半色调图案。半色调化提供相对连续的层(例如，没有非意图的间隙或孔)，同时提供可变体积并因此贡献可变墨水/材料建立以达到期望厚度。墨水喷射为使用于形成材料层的材料悬浮的液体或气溶胶，所述材料例如是用于形成平板设备的封装层的有机材料。然后，所沉积的层被固化或以其他方式修整以完成该过程。

本公开要求代表第一指定的发明人Eliyahu Vronsky于2014年6月30号提交的美国临时申请No.62/019076Ink-Based Layer Fabrication Using Halftoning toControl Thickness、代表第一指定的发明人Eliyahu Vronsky于2014年5月30号提交的美国临时申请No. 62/005044“Ink-Based Layer Fabrication Using Halftoning toControl Thickness”、代表第一指定的发明人Eliyahu Vronsky于2014年4月10号提交的美国临时申请No.61/977939“Ink- Based Layer Fabrication Using Halftoning toControl Thickness”以及代表第一指定的发明人 Eliyahu Vronsky于2013年12月12号提交的美国临时申请No.61/915,149“Ink-Based Layer Fabrication Using HalftoneVariation”中的每一个的优先权。特此通过引用并入前述申请。

背景技术

各种化学和物理过程可以用于将材料沉积在衬底上。一些沉积过程依赖于图案化沉积，其中掩模或其他机制用于在精确的容差内创建纳米级特征，例如匹配诸如晶体管路径宽度的电子纳米级结构的尺寸，而其他沉积过程提供相对无特征的、大尺度沉积，诸如横跨几十微米距离或更大距离的基于覆盖层(blanket)的涂敷或沉积。

存在对于其而言现有过程是次优的一类建造应用。更具体地，对于其中人们期望将层形成在相对于纳米级特征的衬底的大的区上的应用，尤其是对于有机材料沉积，可能难以控制沉积的层的均匀性。

附图说明

图1A是示出公开的技术的实施例的图，其中用于期望层的厚度数据被转换成对于建造期望层有用的半色调图案。

图1B是其中描述期望层的布局数据被生成或接收、转换成半色调图案以及用于沉积将成为期望层的墨水的过程的说明性图。

图1C是详细实施例的框图，其中厚度数据用于获得用于相应“打印单元”的灰度(grayscale)值，并且其中灰度值然后用于生成半色调图案。

图2A提供了示出均可以独立地体现本文引入的技术的一系列可选层级、产品或服务的说明性视图。

图2B提供了可以用于在存在受控大气环境的情况下建造例如平板设备的部件的建造机构的平面视图。

图2C是示出在图2B的建造机构内的打印机的布局的平面视图；更具体地，图2C 示出了如何相对于衬底253移动打印头259。

图2D是在图2A的打印模块内相关联的各种子系统的框图。

图3A示出了根据离散波形段来定义用于创建个体墨滴的波形的方式。

图3B示出了其中可以基于不同喷嘴触发(firing)波形来创建具有不同参数的液滴的实施例。

图3C示出了与在编程的时间(或位置)处生成期望波形并将期望波形应用于打印头的喷嘴相关联的电路；该电路提供例如来自图3B的电路343/351、344/352和345/353中的每一个的一种可能实现。

图4A提供了用于描述表示期望层的厚度的数据到半色调图像的转换的流程图。