[发明专利]气体泄漏检测方法

权利要求书

1.一种气体泄漏检测方法，用于气体泄漏检测装置，所述气体泄漏检测装置包括机架，所述机架上设置有第一腔体，所述第一腔体内设置有第二腔体和密封件，所述密封件密封所述第二腔体，所述第二腔体可打开地设置在所述第一腔体内，所述第一腔体内还设置有气体分析仪和阀体组件，所述气体泄漏检测装置设置有第一气体回路和第二气体回路，所述第二气体回路中设置有气体清洁装置，

其特征在于，所述气体泄露检测方法包括以下步骤：

打开所述第二腔体，将待检测件放入所述第二腔体内；

关闭所述第二腔体，控制所述密封件密封所述第二腔体；

控制所述阀体组件，打开所述第一气体回路，关闭所述第二气体回路，抽取所述第二腔体内部的气体至真空状态；

控制所述阀体组件，关闭所述第一气体回路，打开所述第二气体回路，观察所述气体分析仪。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述第二腔体中设置有光栅，所述“关闭所述第二腔体，控制所述密封件密封所述第二腔体”的步骤前还包括以下步骤：

所述光栅检测所述第二腔体中是否有异物。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述气体检测装置包括压紧气缸，所述“关闭所述第二腔体，控制所述密封件密封所述第二腔体”的步骤包括以下步骤：

所述压紧气缸驱动所述密封件在竖直方向上移动。

4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述阀体组件包括第一高真空阀、第二高真空阀、第一气控阀和第二气控阀，所述第一高真空阀设置在所述第一气体回路和所述第二气体回路中，所述第一气控阀设置在所述第二气体回路中，所述第二气控阀和所述第二高真空阀设置在所述第一气体回路中，

所述“控制所述阀体组件，打开所述第一气体回路，关闭所述第二气体回路，抽取所述第二腔体内部的气体至真空状态”的步骤还包括以下步骤：

打开所述第一高真空阀、所述第二气控阀和所述第二高真空阀，关闭所述第一气控阀。

5.根据权利要求4所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述第一气体回路中设置有流量控制器，所述“控制所述阀体组件，打开所述第一气体回路，关闭所述第二气体回路，抽取所述第二腔体内部的气体至真空状态”的步骤包括以下步骤：

观察所述流量控制器，判断所述第二腔体内是否达到真空状态。

6.根据权利要求4所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述“控制所述阀体组件，关闭所述第一气体回路，打开所述第二气体回路”的步骤还包括以下步骤：

打开所述第一高真空阀和所述第一气控阀，关闭所述第二气控阀和所述第二高真空阀。

7.根据权利要求4所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述气体分析仪中设置有多种传感器，所述气体分析仪根据所述气体成分显示不同等级，所述“观察所述气体分析仪”的步骤包括：

观察所述气体分析仪显示的等级。

8.根据权利要求4所述的气体泄漏检测方法，其特征在于，所述第二气体回路中还设置有气体清洁装置，所述“控制所述阀体组件，关闭所述第一气体回路，打开所述第二气体回路”的步骤中还包括以下步骤：

所述气体清洁装置清洁所述第二气体回路中产生的有毒有害气体。