[发明专利]电光调制器

权利要求书

1.一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个地电极、一个第一调制电极及一个第二调制电极；该基底包括一个顶面；该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括一个仅用于传输横电波的第一分支及一个与该第一分支平行且仅用于传输横磁波的第二分支；该基底在该顶面上向该基底内部形成有条状且平行于该第一分支及该第二分支的一个第一凹槽、一个第二凹槽及一个第三凹槽；该第一凹槽位于该第一分支与该第二分支之间，该第二凹槽位于该第一分支与该第一凹槽相背一侧，该第三凹槽位于该第二分支与该第一凹槽相背一侧；该地电极位于该第一分支与该第二凹槽相背一侧，并完全覆盖该第一凹槽及该第二分支；该第一调制电极位于该第二凹槽内，并覆盖该第二凹槽靠近该第一分支的侧面；该第二调制电极位于该第三凹槽内，并仅覆盖该第三凹槽的底面，该Y型光波导包括一个入射段及一个出射段；该第一分支及该第二分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段；该第二分支与该入射段及该出射段形成直线的传输通道；该第一分支与该第二分支平行；该Y型光波导还包括一个入射分叉及一个出射分叉；该入射分叉与该第二分支自该入射段分叉并与该第一分支连接；该出射分叉与该第二分支汇聚交叉入该出射段，并与该第一分支连结，该第二分支在扩散金属钛后还扩散金属镓而形成。

2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。

3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一凹槽、第二凹槽及第三凹槽与该第一分支长度相同且对齐设置。

4.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该入射段及该出射段通过在该基底上扩散金属钛而形成。

5.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一分支、该入射分叉及该出射分叉在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金而形成。

6.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该地电极、该第一调制电极及该第二调制电极与该第一凹槽、该第二凹槽及该第三凹槽的长度相同且对齐设置。

7.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括设置于该第二分支与该地电极之间的缓冲层，用来防止该第二分支传输的光波被该地电极所吸收。

8.如权利要求7所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。