[发明专利]制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉在审
| 申请号： | 201711136155.8 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107699943A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 武鹏;王双丽;徐岩 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/02 | 分类号： | C30B11/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 晶体 加热器 铸锭 | ||
1.一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，其中所述顶部加热器和侧部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低。
2.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述顶部加热器的电阻率分布为自中间向四周逐渐降低。
3.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述侧部加热器的电阻率分布为自上而下逐渐降低。
4.根据权利要求1所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述顶部加热器由两个顶部加热板拼接而成，其中一端由拼接板连接，另一端由一个石墨电极连接。
5.一种制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，其中所述顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布不均匀，所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低，所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低。
6.根据权利要求5所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述顶部加热器的电阻率分布为自中间向四周逐渐降低。
7.根据权利要求5所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述侧部加热器的电阻率分布为自上而下逐渐降低。
8.根据权利要求5所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述底部加热器的电阻率分布为自中间向四周逐渐降低。
9.根据权利要求5所述的制备晶体硅锭的加热器，其特征在于，所述底部加热器由一个底部加热板构成。
10.一种制备晶体硅锭的铸锭炉，包括炉体，该炉体内设置有隔热笼体，该隔热笼体内设置有热交换块，该热交换块上方设置有坩埚，其特征在于，所述炉体内还设置有如权利要求1-9任一项所述的加热器，其中所述底部加热器设置在所述热交换块的下方，并且所述底部加热器的几何中心与所述热交换块的几何中心重合，所述底部加热器的四周边缘与所述热交换块的四周边缘平齐。
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