[发明专利]基于随机光栅的单片集成半导体随机激光器有效
申请号: | 201711137990.3 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN107749563B | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 张明江;乔丽君;吕天爽;张建忠;刘毅;赵彤;王安帮;王云才 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/34 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源;曹一杰 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 随机 光栅 单片 集成 半导体 激光器 | ||
1.基于随机光栅的单片集成半导体随机激光器,其特征在于,包括:
一衬底;
一下限制层,其制作在衬底上;
一有源层,其制作在下限制层上;
一上限制层,其制作在有源层上;
一波导层,为条状,其纵向制作在上限制层上面的中间;
一P+电极层,其是用隔离沟将其分为两段,制作在波导层上;
一N+电极层,其制作在下限制层的背面;
其中,分为两段的P+电极层分别对应于增益区和随机反馈区;
所述的随机反馈区对增益区发出的光进行随机反馈,随机反馈区对应的有源层部分为体材料;该随机反馈区对应的有源层部分制作随机光栅。
2.根据权利要求1所述的基于随机光栅的单片集成半导体随机激光器,其特征在于,其中所述的增益区为整个芯片提供增益,增益区对应的有源层部分为多量子阱材料;增益区的长度为300±50μm。
3.根据权利要求1所述的基于随机光栅的单片集成半导体随机激光器,其特征在于,随机反馈区的长度为300±50μm。
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