[发明专利]机械手臂工作状态检测机构在审
申请号: | 201711139362.9 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN108022862A | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 杨巍 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机械 手臂 工作 状态 检测 机构 | ||
1.一种机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,其包括机械手臂本体、末端执行器;所述机械手臂本体内部设置轴向的真空管道,所述末端执行器内部设置气体通路,且所述机械手臂本体的真空管道一端与负压源连接,另一端与末端执行器气体通路的一端连接;所述气体通路的另一端通至所述末端执行器的底部;
所述机械手臂本体上设置应变检测传感器。
2.如权利要求1所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述应变检测传感器包括:光栅光纤传感器。
3.如权利要求2所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述光栅光纤传感器的引出线与所述机械手臂本体并行的部分固定于机械手臂本体上。
4.如权利要求3所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述机械手臂本体的真空管道通过柔性软管与负压源连接;所述光栅光纤传感器的引出线与所述柔性软管并行的部分固定于所述柔性软管上。
5.如权利要求1所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述应变检测传感器包括:电阻应变片。
6.如权利要求1所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述机械手臂主体的表面设置安装槽,所述应变检测传感器固定于所述安装槽中。
7.如权利要求6所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述安装槽的延伸方向平行于所述机械手臂主体的轴向。
8.如权利要求1所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述机械手臂主体上开设一个以上的孔,所述孔处于所述应变检测传感器正下方。
9.如权利要求8所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,所述孔包括通孔或盲孔。
10.如权利要求1-9任一项所述的机械手臂工作状态检测机构,其特征在于,还包括:处理器,所述处理器与所述应变检测传感器相连,用于根据所述应变检测传感器的应变检测判断机械手臂的工作状态并生成机械手臂的运行动作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造