[发明专利]基于扫描电子显微镜测量侧壁倾斜角的方法

权利要求书

1.一种基于扫描电子显微镜测量侧壁倾斜角的方法，其特征在于，包括：

将电子束沿竖直方向倾斜第一角度入射沟道，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第一图片，测量所述第一图片中电子束倾斜投影的侧壁宽度，将测量的侧壁宽度用所述第一角度的三角函数及预测量侧壁倾斜角的三角函数进行表示，得到第一关系表达式；

将电子束沿竖直方向倾斜第二角度入射沟道，所述第二角度与所述第一角度不等，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第二图片，测量所述第二图片中电子束倾斜投影的侧壁宽度，将测量的侧壁宽度用所述第二角度的三角函数及预测量侧壁倾斜角的三角函数进行表示，得到第二关系表达式；

根据所述第一关系表达式和所述第二关系表达式推算出预测量的侧壁倾斜角的大小。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一角度和所述第二角度均大于0度小于10度。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一角度为α，测量所述第一图片中电子束倾斜投影的侧壁宽度为L1；所述第二角度为β，测量所述第二图片中电子束倾斜的侧壁宽度为L2；预测量的侧壁倾斜角为θ，预测量的侧壁倾斜角θ对应的直角边为H；

将测量的侧壁宽度L1用所述第一角度的三角函数及预测量侧壁倾斜角的三角函数进行表示得到的第一关系表达式为：L1＝H(tanα+tan(90°-θ))；

将测量的侧壁宽度L2用所述第二角度的三角函数及预测量侧壁倾斜角的三角函数进行表示得到的第二关系表达式为：L2＝H(tanβ+tan(90°-θ))；

根据所述第一关系表达式和所述第二关系表达式推算出所述预测量侧壁倾斜角的大小为：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还应用于凸台的侧壁倾斜角、光刻后光阻的倾斜角的测量。