[发明专利]离子源支承台

权利要求书

1.一种离子源支承台，其放置离子源，所述离子源包括长条状的等离子体生成容器和一对下侧辊，所述一对下侧辊设置在所述等离子体生成容器的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁上，

所述离子源支承台的特征在于，

在所述侧壁设置有一对上侧辊，

对于所述下侧辊和所述上侧辊，在所述离子源安装在装置主体的状态下，所述下侧辊、所述上侧辊和所述离子源的重心沿铅垂方向直线状地配置，

所述离子源支承台包括：

一对轨道，在所述离子源悬吊的状态下，可转动地放置所述一对下侧辊；以及

牵引机构，在所述一对下侧辊放置在所述一对轨道上的状态下，将所述离子源从所述轨道的一端侧向另一端侧牵引，

所述牵引机构具有移动体和一对输送带，所述移动体设置在所述一对轨道的外侧，能够从所述轨道的一端侧向另一端侧移动，所述一对输送带沿所述轨道设置在所述一对轨道的各自的外侧，

所述移动体边接触与所述等离子体生成容器一体设置的被接触部件边移动，所述移动体分别安装在所述一对输送带上。

2.根据权利要求1所述的离子源支承台，其特征在于，

所述牵引机构能够用手动调整牵引所述离子源的力。

3.根据权利要求1或2所述的离子源支承台，其特征在于，

所述移动体具有向上开口的收容凹部，

通过将所述一对下侧辊放置到所述一对轨道上，所述被接触部件通过所述开口收容到所述收容凹部中。