[发明专利]一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法

权利要求书

1.一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，将光源照射在待检测超薄透明板的一侧，经待检测超薄透明板的透射光被第一感光装置接收，经待检测超薄透明板的镜面反射光被第二感光装置接收；如果观测到第一感光装置和第二感光装置上同时出现暗斑，则说明瑕疵位于待检测超薄透明板的靠近光源的表面上；如果观测到第一感光装置上出现暗斑而第二感光装置上没有暗斑，则说明瑕疵位于待检测超薄透明板的远离光源的表面上；如果在第一感光装置和第二感光装置上都没有观测到暗斑，则说明待检测超薄透明板上没有瑕疵。

2.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述光源为LED白光、激光、台灯、白炽灯或者超连续光。

3.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待检测超薄透明板的材质为塑料、玻璃或者透明晶体。

4.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待检测超薄透明板的厚度为1微米到10厘米。

5.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待检测超薄透明板的两个表面相互平行或者不平行。

6.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待检测超薄透明板的两个表面为平整表面或者为不平整表面。

7.根据权利要求1所述的一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述第一感光装置和第二感光装置采用光屏或者感光传感器。