[发明专利]一种扩晶机在审
申请号: | 201711146441.2 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN107833851A | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 吴雪光 | 申请(专利权)人: | 江门市蓬江区精汇电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人: | 廖华均 |
地址: | 529000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩晶机 | ||
1.一种扩晶机,其特征在于,包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4),基座(1)的上端设置有下压板(5),下压板(5)的边缘铰接有上压板(6),下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构(25),上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7),基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8),扩晶盘(8)的下表面连接有气缸(9)并通过气缸(9)驱动其上下运动,扩晶盘(8)内部设置有加热装置,扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10),内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合,外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合,限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11),以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12),下压板(5)的边缘延伸有安装板(17),锁紧机构(25)包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板(17)上的支承座(18)、与支承座(18)铰接的连接杆(19)和从动杆(20),以及与连接杆(19)和从动杆(20)铰接的主动杆(21),从动杆(20)上连接有一悬臂(22),悬臂(22)上设置有压块(23),主动杆(21)上设置有用于驱动其运动的把手(24)。
2.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述阶梯(10)的边缘设置有倒圆角(13)。
3.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)与下压板(5)通过连接柱(14)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种扩晶机,其特征在于,所述下压板(5)呈方形设置,连接柱(14)设置有四根,分别与下压板(5)下表面的四个对角处固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述支撑杆(11)为可伸缩调节的杆体。
6.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)下表面的中部设置有凸台(15),凸台(15)中部设置有螺纹连接孔,气缸(9)包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘(8)连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。
7.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)上倾斜设置有对上压板(6)进行支撑限位的支撑柱(16)。
8.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)、上压板(6)和下压板(5)均为不锈钢制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造