[发明专利]一种扩晶机在审

专利信息
申请号: 201711146441.2 申请日: 2017-11-17
公开(公告)号: CN107833851A 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 吴雪光 申请(专利权)人: 江门市蓬江区精汇电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 代理人: 廖华均
地址: 529000 广东省*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 扩晶机
【权利要求书】:

1.一种扩晶机,其特征在于,包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4),基座(1)的上端设置有下压板(5),下压板(5)的边缘铰接有上压板(6),下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构(25),上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7),基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8),扩晶盘(8)的下表面连接有气缸(9)并通过气缸(9)驱动其上下运动,扩晶盘(8)内部设置有加热装置,扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10),内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合,外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合,限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11),以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12),下压板(5)的边缘延伸有安装板(17),锁紧机构(25)包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板(17)上的支承座(18)、与支承座(18)铰接的连接杆(19)和从动杆(20),以及与连接杆(19)和从动杆(20)铰接的主动杆(21),从动杆(20)上连接有一悬臂(22),悬臂(22)上设置有压块(23),主动杆(21)上设置有用于驱动其运动的把手(24)。

2.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述阶梯(10)的边缘设置有倒圆角(13)。

3.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)与下压板(5)通过连接柱(14)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种扩晶机,其特征在于,所述下压板(5)呈方形设置,连接柱(14)设置有四根,分别与下压板(5)下表面的四个对角处固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述支撑杆(11)为可伸缩调节的杆体。

6.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)下表面的中部设置有凸台(15),凸台(15)中部设置有螺纹连接孔,气缸(9)包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘(8)连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。

7.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)上倾斜设置有对上压板(6)进行支撑限位的支撑柱(16)。

8.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)、上压板(6)和下压板(5)均为不锈钢制成。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江门市蓬江区精汇电子科技有限公司,未经江门市蓬江区精汇电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711146441.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top