[发明专利]一种超纯水制备系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种超纯水制备系统，属于水处理设备技术领域。

背景技术

超纯水常用于集成电路工业中，用于半导体原材料的清洗，光刻掩膜版的制备，同时超纯水也是实验室中使用最多的物质，在仪器分析，高纯分析及配制化学试剂过程中，所使用的水的纯度非常重要，水中多余离子和可溶性有机物及杂质会对实验分析造成干扰，导致检测结果不准确，无法得到理想的实验结果。目前，大多数的实验室都存在实验用水制取困难且成本高，而传统的制水方法往往无法彻底的去除水中的多余离子，无法完全满足实验用水的需求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，本发明提供一种超纯水制备系统，采用二级反渗透装置，可制备出电阻率在 5-18.2MΩ•cm(25℃ ) 范围的超纯水。

为解决上述技术问题，本发明提供一种超纯水制备系统，包括原水箱，砂过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器，一级反渗透装置，中间水箱，二级反渗透装置，第二中间水箱，EDI 电除盐装置，纯水箱和微孔膜过滤器；所述原水箱与砂过滤器通过原水泵连接；所述砂过滤器和活性炭过滤器直接通过管道连接；所述活性炭过滤器和精密过滤器直接通过管道连接；所述精密过滤器和一级反渗透装置通过高压泵连接；所述一级反渗透装置和中间水箱直接通过管道连接；所述中间水箱和二级反渗透装置通过二级高压泵连接；所述二级反渗透装置和第二中间水箱直接通过管道连接；所述第二中间水箱和EDI 电除盐装置通过增压泵连接；所述EDI 电除盐装置和纯水箱直接通过管道连接；所述纯水箱和微孔膜过滤器通过输送泵连接。

前述的砂过滤器中的过滤介质为石英砂。

前述的活性炭过滤器与精密过滤器之间的管路上设置阻垢剂投加装置。

前述的原水泵和砂过滤器之间设絮凝剂投加装置。

前述的一级反渗透装置和中间水箱之间的管道上设置pH值调节装置。

前述的纯水箱和微孔膜过滤器之间还设有UV 紫外线杀菌装置。

本发明所达到的有益效果：

本发明采用二级反渗透装置，可制备出电阻率在 5-18.2MΩ•cm(25℃ ) 范围的超纯水，可广泛用于制药工业、微电子工业、发电工业和实验室、特殊组件的表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业。

附图说明

图1 为本发明的超纯水制备系统结构图。

具体实施方式

下面对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

如图1所示，本发明的超纯水制备系统包括原水箱1，砂过滤器3，活性炭过滤器4，精密过滤器6，一级反渗透装置8，中间水箱10，二级反渗透装置12，第二中间水箱13，EDI 电除盐装置15，纯水箱16和微孔膜过滤器19。具体的，自来水进入原水箱1，通过原水泵2压入到砂过滤器3，利用石英砂去除水中各种悬浮物、微生物、以及其他微细颗粒，最终降低水浊度，然后再进入活性炭过滤器4，降低水中的余氯含量，去除水中的异味、有机物、胶体以及铁质，粗步过滤后的水进入精密过滤器6，截留大于 5μm 的颗粒，以防止大颗粒物质进入一级反渗透装置，大颗粒物质经高压泵加速后可能击穿一级反渗透膜，造成大量漏盐的情况，同时划伤高压泵的叶轮。经精密过滤器后的水在高压泵7的作用下进入一级反渗透装置8，一级反渗透装置8对原水进行精度极高的过滤，脱盐率可达到 95% 以上，然后进入中间水箱10，再经过二级高压泵11对水继续增压，提供足够动力通过二级反渗透膜装置12，再次对原水进行过滤，进一步提高脱盐率，然后暂时性储放到第二中间水箱13。第二中间水箱13的水经增压泵14后进入EDI 电除盐装置15，在EDI 电除盐装置中根据去离子水用途和系统配置设置，制备出电阻率要求在 5-18.2MΩ•cm(25℃ ) 范围的纯水。然后将水存储在纯水箱16中，纯水箱16中的水经输送泵17送入到微孔膜过滤器19，微孔膜过滤器保证最终出水的稳定。

进一步的，在活性炭过滤器4与精密过滤器6之间的管路上设置阻垢剂投加装置5，阻垢剂可通过阻垢剂投加装置5进入到精密过滤器6的入口管路中，与入口液体混合后进入精密过滤器6中，从而保证在液体进入精密过滤器的滤芯部位前与阻垢剂充分混合，从而可靠的避免难溶性的无机盐成分在精密过滤器的滤芯表面沉淀或者结垢，从而有效的将杂质过滤后阻止在滤芯外面。