[发明专利]一种涂胶机在审
申请号: | 201711155775.6 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN109807003A | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 宋双 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 何丽英 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷嘴 盘体 二维运动平台 吊臂 涂胶平台 涂胶机 半导体制程 产能 晶圆 喷胶 喷涂 片晶 | ||
1.一种涂胶机,其特征在于,包括涂胶平台(1)、二维运动平台、喷嘴I(3)、吊臂(4)、喷嘴II(5)、盘体I(7)及盘体II(6),其中二维运动平台、盘体I(7)及盘体II(6)均设置于涂胶平台(1)上,所述吊臂(4)设置于所述二维运动平台上、并且两端分别与喷嘴I(3)和喷嘴II(5)连接,所述喷嘴I(3)和所述喷嘴II(5)分别与所述盘体I(7)和所述盘体II(6)相对应。
2.根据权利要求1所述的涂胶机,其特征在于,所述喷嘴I(3)和所述喷嘴II(5)之间的距离与所述盘体I(7)和所述盘体II(6)之间的中心距离相等。
3.根据权利要求1或2所述的涂胶机,其特征在于,所述二维运动平台为组合电缸(2),所述组合电缸(2)包括X轴电缸(21)和Y轴电缸(22),其中X轴电缸(21)设置于所述涂胶平台(1)上,所述Y轴电缸(22)设置于所述X轴电缸(21)上,所述吊臂(4)设置于所述Y轴电缸(22)上、并且通过所述X轴电缸(21)和所述Y轴电缸(22)的驱动可沿X、Y方向运动。
4.根据权利要求3所述的涂胶机,其特征在于,所述吊臂(4)为横跨在所述Y轴电缸(22)上的“门”型结构,所述喷嘴I(3)和所述喷嘴II(5)分别连接在所述吊臂(4)的下端两侧。
5.根据权利要求4所述的涂胶机,其特征在于,所述吊臂(4)的一侧竖直边框通过连接块(8)与所述Y轴电缸(22)的执行端连接。
6.根据权利要求5所述的涂胶机,其特征在于,所述连接块(8)与所述吊臂(4)的一侧竖直边框的连接高度可调整。
7.根据权利要求6所述的涂胶机,其特征在于,所述吊臂(4)的一侧竖直边框上设有用于调整所述连接块(8)高度的刻度线(9)。
8.根据权利要求1所述的涂胶机,其特征在于,所述盘体I(7)和盘体II(6)位于所述二维运动平台的同侧。
9.根据权利要求1所述的涂胶机,其特征在于,所述盘体I(7)和盘体II(6)均为圆形结构。
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