[发明专利]基板夹紧装置

说明书

本发明涉及显示器制造领域，一种基板夹紧装置，将基板放置于台车上，利用设置于台车上的夹持臂来固定基板，夹持臂通过旋转升降机构来实现一边旋转一边上下运动，从而实现对基板的夹紧和解脱动作。整个夹持过程对基板的冲击小，且方便基板的拿取。而设置于基板四周，且两两对称设置的夹紧臂可以保持基板的受力均匀，夹持更可靠。

技术领域

本发明涉及显示器制造领域，尤其涉及一种溅射机上的基板的夹紧装置。

背景技术

溅射机广泛运用于显示器面板的镀膜制程中，例如OLED阴极镀膜，TP消影层等等。很多镀膜制程都不需要整个基板成膜，只是在特定位置沉积特定形状的膜层即可。这就要求基板一方面在镀膜时与金属掩膜板紧密对位，另一方面在对位完成后要保持基板和金属掩膜板的相对位置，在整个成膜过程中不能发生变化。因此基板夹具装置在整个溅射机中显得尤为重要。

当前的溅射机基板夹具，通常装在基板的长边位置，对位完成后基板下降到成膜位置，使用长边的两个或者四个夹具夹住基板，此种夹具设计有以下缺陷：只在两个长边有夹具无法保证短边在移动成膜的过程中不移动；此种夹具的夹紧松开需要两边有电机驱动才能完成，受限于镀膜腔室的有限空间，夹具数量不能太多；装在夹具金属掩膜板边框上，每次更换不同的金属掩膜板型号时都会拆装、验证，浪费时间且影响产能；经常拆卸的组件容易损坏，增加成本；容易造成基板受力不均而导致的基板和/或金属掩膜板翘曲造成镀膜阴影，影响成膜质量。

也有一些溅射机选择不装夹具，仅利用基板本身的重力和改善传动装置的震动来保持基板与金属掩膜板的相对位置，但如果不使用夹具，一旦设备的传动机构出现震动，则会造成相对位置变化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种夹持可靠，无需经常更换的基板夹紧装置，具体包括如下技术方案：

一种基板夹紧装置，用于将所述基板固定在溅射机的台车上，包括夹持臂、托盘和连接于托盘底部的升降驱动装置，所述升降驱动装置用于带动所述托盘相对于所述台车上下运动；所述夹持臂设于所述台车上并围设成收容空间，所述收容空间用于容置所述基板，所述夹持臂包括支架和夹爪，所述支架通过旋转升降机构连接于所述台车上，用于带动所述夹爪同时做旋转和升降运动；所述夹爪在旋转下降运动后与所述基板上表面发生接触，用于夹紧放置于所述基板；所述托盘位于所述台车下方，所述托盘上设有第一顶杆和第二顶杆；所述第一顶杆与所述夹持臂配合，用于推动所述夹持臂向上运动；所述第二顶杆用于推动所述基板向上运动。

其中，所述旋转升降机构为滚珠丝杠，所述支架上设有与所述滚珠丝杠配合的螺纹槽。

其中，所述夹持臂在所述第一顶杆的推动下旋转运动时，其最大旋转角度为90度。

其中，所述夹持臂与所述台车之间设置弹簧，用于为所述夹持臂提供向下方向的弹力。

其中，所述夹持臂为多个，所述第一顶杆数量与所述夹持臂数量相同且一一对应，多个所述夹持臂同时上升或下降，且速度相同。

其中，所述夹持臂对称设置在所述基板的两侧。

其中，对称设置的两个所述夹持臂在上升或下降时旋转方向相同。

其中，所述夹持臂围设的收容空间为长方形，在所述长方形的长边和短边上都对应设置至少一对所述夹持臂，用于夹持所述基板的四周。

其中，多个所述夹爪与所述基板同时接触或脱开。

其中，所述夹爪与所述基板的接触面做圆弧处理，以免刮伤所述基板。