[发明专利]基于微纳米透镜阵列的高速光学超分辨率成像系统和方法有效

专利信息
申请号: 201711157754.8 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN108152941B 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 王玉亮;曾炳霖;周骥 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: G02B21/02 分类号: G02B21/02;G02B21/24;G02B21/36;G02B27/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 透镜阵列 微纳米 光学显微镜 精密运动平台 纳米微球 超分辨率 成像 超分辨率成像 光学成像系统 相对位置测量 大范围扫描 计算机处理 成像效率 高速光学 光学成像 光学图像 实时测量 实时反馈 上表面 下表面 样品台 粗调 物镜 发送
【权利要求书】:

1.基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像系统,其特征在于:包括光学显微镜(1)、精密运动平台(2)、微纳米透镜阵列(3)和两个纳米微球(4,5);所述精密运动平台(2)位于所述光学显微镜(1)的粗调平台(7)上,所述精密运动平台(2)上设有样品台(9),样品(12)置于所述样品台(9)上方;所述微纳米透镜阵列(3)倒置于所述样品(12)和所述光学显微镜(1)的物镜(6)之间;所述两个纳米微球(4,5)分别位于所述样品(12)上表面和所述微纳米透镜阵列(3)下表面。

2.根据权利要求1所述的基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像系统,其特征在于所述光学显微镜(1)为反射式正置光学显微镜,在所述光学显微镜(1)中,所述物镜(6)上方装有单轴精密运动单元(10),通过螺纹紧固连接;所述单轴精密运动单元(10)固定在透镜阵列安装架(11)上,通过螺纹紧固连接;所述透镜阵列安装架(11)固定在显微镜镜架(17)上,通过螺纹紧固连接。

3.根据权利要求1或2所述的基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像系统,其特征在于所述微纳米透镜阵列(3)倒置粘贴在所述透镜阵列安装架(11)底端,通过双面胶带进行紧固;所述微纳米透镜阵列(3)的透镜底端与所述样品(12)之间的距离可通过所述粗调平台(7)和所述精密运动平台(2)进行控制,可控制在0到几微米之间。

4.根据权利要求1所述的基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像系统,其特征在于所述粗调平台(7)和所述精密运动平台(2)各具有3个自由度。

5.基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像方法,其特征在于包括以下步骤:

人工调整粗调平台(7),使光学显微镜(1)视场内能同时出现两个纳米微球(4,5)的离焦图像;

计算机(16)通过所述两个纳米微球(4,5)的显微离焦图像实时计算并反馈样品(12)与微纳米透镜阵列(3)的相对位置;

精密运动平台(2)使所述样品(12)下降到微纳米透镜阵列(3)的近场范围内,并水平移动到所述样品(12)待测区域;

单轴精密运动单元(10)控制物镜(6),使所述物镜(6)的焦点位于所述微纳米透镜阵列(3)的焦平面内;

高速相机(2)将所述光学显微镜(1)获取的所述微纳米透镜阵列(3)所成的超分辨率图像传送至所述计算机(16)中进行处理及显示。

6.根据权利要求5所述的基于微纳米透镜阵列的高速超分辨率光学成像方法,其特征在于所述微纳米透镜阵列(3)中的每个微纳米透镜同时对所述样品(12)的不同位置进行成像,控制所述精密运动平台(2)实现扫描运动,显著提高超分辨率光学成像效率。

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