[发明专利]一种制备低氧球形金属粉末的设备及方法

权利要求书

1.一种制备低氧球形金属粉末的设备，其特征在于，该设备包括：雾化室、保护气循环装置、激光器光学系统、高频振动装置和集粉器；

雾化室的相对两侧面分别形成有进气口和出气口，雾化室底面靠近进气口的位置形成有光学系统安置孔；

保护气循环装置的两端分别连接在雾化室的进气口和出气口，在保护气循环装置和雾化室的内部形成保护气的循环通道；

激光器光学系统设置在雾化室的底面，激光器光学系统通过所述光学系统安置孔能够将激光束发射进入雾化室内部；

所述高频振动装置位于雾化室内部，所述高频振动装置能够固定安装金属棒，并能够控制金属棒移动，固定后的金属棒的表面能够被激光器光学系统发出的激光束照射；

集粉器位于雾化室下方，与雾化室内部相通，并位于激光器光学系统远离雾化室进气口的一侧。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述保护气循环装置包括进气管、出气管和过滤器；

进气管的一端与雾化室的进气口连接，外部保护气通过进气管的另一端进入进气管，再经由雾化室的进气口进入雾化室内部；出气管的一端与雾化室的出气口连接，出气管的另一端连接到进气管；所述过滤器设置在出气管内部。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述保护气循环装置还包括保护气循环控制装置，保护气循环控制装置位于出气管的管路上，出气管被保护气循环控制装置分隔成沿保护气循环方向的前端管路和后端管路；所述过滤器设置在雾化室的出气口和保护器循环控制装置之间；所述保护气循环控制装置设置有排气装置。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述保护气循环装置还包括保护气进口电磁阀和真空泵，进气管的所述另一端设置所述保护气进口电磁阀，真空泵设置在出气管的管路上。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述高频振动装置包含高频振动器、换能器、变幅杆和运动控制器；

高频振动器经换能器将能量输出到变幅杆，变幅杆能够固定安装所述金属棒，运动控制器能够控制金属棒的移动。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，运动控制器为Z轴运动控制器，运动控制器位于雾化室内部上方，所述变幅杆固定在运动控制器的下方，所述变幅杆下方能够固定金属棒，运动控制器能够控制金属棒上下移动。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述激光器光学系统包含有依次放置的脉冲或连续激光器、准直镜、振镜、场镜和窗口镜；

所述窗口镜设置在光学系统安置孔中，激光器发出的激光束经准直镜、振镜、场镜后，经窗口镜进入雾化室内部，所述激光束采用小光斑脉冲激光束。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述制备低氧球形金属粉末的设备还包括压力传感器、氧气传感器和氮气传感器，压力传感器、氧气传感器和氮气传感器设置在雾化室内部。