[发明专利]一种离子束溅射辅助镀膜机有效
| 申请号： | 201711160242.7 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107988579B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王三胜;刘静 | 申请（专利权）人： | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李冉<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主离子源 中和装置 真空腔室 薄膜 离子束溅射 辅助镀膜 阴极灯丝 缠绕 弹簧形状 灯丝结构 工作时长 工作效率 厚度增加 室内侧壁 中和灯丝 真空腔 剥落 保证 | ||
1.一种离子束溅射辅助镀膜机，其特征在于，包括真空腔室(1)、一个主离子源(2)和中和装置(3)；
所述真空腔室(1)的一侧设置所述主离子源(2)；
所述主离子源(2)由阴极灯丝组成，所述阴极灯丝为φ0.2且缠绕成弹簧形状，缠绕5-10圈，直径为1.0mm；
所述中和装置(3)安装在所述真空腔室(1)与所述主离子源(2)靠近的真空腔室(1)内侧壁上；
所述中和装置(3)内设有中和灯丝(31)；
所述中和装置(3)还包括：外壳(32)、偏置电源(33)、阳极电源(34)和阴极电源(35)；
所述外壳(32)上设有通道(36)；
所述偏置电源(33)的正极接地，负极与所述阳极电源(34)的正极相连接；
所述阳极电源(34)的正极与所述外壳(32)连接，负极与所述中和灯丝(31)的中段位置连接；
所述阴极电源(35)的两端分别连接所述中和灯丝(31)的两端；所述中和灯丝(31)呈弹簧状。
2.如权利要求1所述的一种离子束溅射辅助镀膜机，其特征在于，所述真空腔室(1)顶部设有圆形盖，所述圆形盖上设有四个密封管路以及两个通气管，所述四个密封管路分别内置线路，与所述中和装置(3)连接；
所述两个通气管的其中一路通气管与所述中和装置(3)连接，另一路通气管端口设置在所述真空腔室(1)内顶部。
3.如权利要求1-2任一项所述的一种离子束溅射辅助镀膜机，其特征在于，还包括：一个辅离子源(4)；
所述辅离子源(4)设置在所述真空腔室(1)的另一侧；
所述辅离子源(4)包括阴极灯丝和一体中和灯丝，所述阴极灯丝为φ0.2且缠绕成弹簧形状，缠绕5-10圈，直径为1.0mm；
所述一体中和灯丝为φ0.2，呈线条状。
4.如权利要求3所述的一种离子束溅射辅助镀膜机，其特征在于，还包括：溅射靶台(5)、样品旋转台(6)、插板阀(7)、分子泵(8)、机械泵(9)和第一冷水机(10)和第二冷水机(11)；
所述溅射靶台(5)安装在所述真空腔室(1)内远离所述中和装置(3)的位置，且与所述主离子源(2)水平相对；
所述样品旋转台(6)安装在所述真空腔室(1)内靠近所述中和装置(3)的上方空间，且与所述辅离子源(4)45°对应；
所述插板阀(7)安装在所述真空腔室(1)下方，所述分子泵(8)安装在所述插板阀(7)下方；所述插板阀(7)上方与所述分子泵(8)下方通过抽气管与所述机械泵(9)连接；
第一冷水机(10)的冷却循环水路环绕所述分子泵(8)；
第二冷水机(11)的冷却循环水路分别环绕所述主离子源(2)、所述辅离子源(4)、所述溅射靶台(5)以及所述样品旋转台(6)。
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