[发明专利]一种坩埚在审
申请号: | 201711160262.4 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN108004508A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 薛建成;关立伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
1.一种坩埚,其特征在于,包括:
具有埚口的埚体;
埚盖,盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起;和
可发生热膨胀的金属件,设置于所述埚体和所述埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述埚体上设置有容纳槽,所述埚盖同时还覆盖所述容纳槽的槽口,所述金属件位于所述容纳槽内;
其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述容纳槽的槽壁和所述埚盖。
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述金属件和所述容纳槽均呈环形状。
4.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述金属件与所述埚盖为一体式结构。
5.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述埚盖上设置有T形的插槽,所述埚体的外侧面上凸出有两插筋,所述埚体通过两所述插筋可推拉地插装于所述插槽内,所述金属件位于所述插筋和所述插槽的槽壁之间;
其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁。
6.根据权利要求5所述的坩埚,其特征在于,所述埚口位于所述埚体的上部,所述金属件设置于所述插筋的下端面与所述插槽的槽壁之间;
其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁,以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖的下端面上。
7.根据权利要求6所述的坩埚,其特征在于,所述金属件上设置有供所述螺栓穿过的通孔。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的坩埚,其特征在于,还包括:
金属垫片,设置于所述螺栓的螺帽和所述埚体之间。
9.根据权利要求8所述的坩埚,其特征在于,所述埚体和所述埚盖均呈矩形状,所述金属垫片呈长条形状。
10.根据权利要求8所述的坩埚,其特征在于,所述金属件的材质为铝合金,所述金属垫片的材质为白钢。
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