[发明专利]一种用于长晶的坩埚装置在审
| 申请号： | 201711160851.2 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109811401A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 防变形 支撑装置 坩埚装置 耐高温材料 温度分布 边缘卡 热场 塌边 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于长晶的坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括：
支撑装置；
石英坩埚，所述石英坩埚设置于所述支撑装置内部，所述石英坩埚的边缘高于所述支撑装置的边缘；以及
防变形环，所述防变形环具有凹槽，所述石英坩埚的边缘卡合在所述防变形环的所述凹槽中，所述防变形环由耐高温材料制成。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述防变形环由内沿、外沿和连接所述内沿和外沿的顶壁构成，所述内沿、外沿和所述顶壁的内侧形成所述凹槽。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述耐高温材料为炭炭复合材料。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑装置为石墨坩埚。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述防变形环的壁厚为2mm-5mm。
6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述防变形环的外沿底部与所述支撑装置的边缘顶部相接触。
7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述防变形环的内沿长度小于所述防变形环的外沿长度。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述石英坩埚为圆形坩埚，所述防变形环为圆环形结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711160851.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种长晶炉及长晶炉的水冷套
- 下一篇：一种拉晶系统和拉晶方法
