[发明专利]一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶

权利要求书

1.一种生物基成膜树脂，其特征在于所述成膜树脂由苯乙烯衍生物与胆酸衍生物通过自由基聚合反应、醇解反应制成；

所述苯乙烯衍生物结构如通式(I)所示：

通式(I)中，R₁为乙酰基、丙酰基中的一种或两种；m为1或2；

所述胆酸衍生物结构如通式(II)所示：

通式(II)中，所述R₂表示为-H或甲基；R₃、R₄分别独立地表示为-H或-OH；R₅表示为缩醛、缩酮、叔丁基、叔丁氧羰基、呋喃基、四氢呋喃基、二氢吡喃基、α-甲基苄基、硅烷基、丁内酯基、戊内酯基或C_1-10的直链、支链烷或环烷烃基。

2.根据权利要求1所述的生物基成膜树脂，其特征在于所述成膜树脂的制备方法包括如下步骤：各原料用量以质量百分数计；

(1)取干净的三口瓶，安装好回流与冷凝装置，依次加入5～30％苯乙烯衍生物、5～30％胆酸衍生物、0.01～5％引发剂以及60～80.13％溶剂，通N₂保护5min；

(2)将三口瓶置于50～80℃油浴中反应16～24小时，得到中间产物；

(3)随后将温度设定在70～80℃，蒸馏出1/3～2/3的溶剂，在中间产物中加入甲醇钠甲醇溶液进行醇解，醇解2～8h，反应结束，得到最终产物；所述甲醇钠甲醇溶液中甲醇钠与苯乙烯衍生物的取代基R₁摩尔比为0.5～1:1；

(4)以甲醇为溶剂，水为沉淀剂，将步骤(3)所得产物反复溶解，用水提纯三次，将沉淀物置于60℃真空烘箱干燥，得白色固体；即所述生物基成膜树脂。

3.根据权利要求2所述的生物基成膜树脂，其特征在于步骤(1)中所述引发剂为偶氮二异丁腈 、偶氮二异庚腈 、偶氮二异丁酸二甲酯、过氧化二苯甲酰、叔丁基过氧化氢、苯甲酸过氧化氢中的一种或多种；所述溶剂为四氢呋喃。

4.根据权利要求1或2所述的生物基成膜树脂，其特征在于所述苯乙烯衍生物与胆酸衍生物的摩尔比为1:1～6。

5.根据权利要求1或2所述的生物基成膜树脂，其特征在于所述成膜树脂的分子量为3000～20000g/mol，分子量分布为1.05～3.0。

6.一种权利要求1所述生物基成膜树脂的应用，其特征在于所述生物基成膜树脂用于制备365nm正性光刻胶或248nm正性光刻胶。

7.一种含有权利要求1所述生物基成膜树脂的365nm或248nm正性光刻胶，其特征在于所述正性光刻胶所含原料及各原料的重量份数为：