[发明专利]用于扫描电容显微镜的样品的制备方法及使用该方法制备的样品有效
| 申请号： | 201711167032.0 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN107702962B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 魏磊;高慧敏;方斌 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01Q60/46 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 电容 显微镜 样品 制备 方法 使用 | ||
1.一种用于扫描电容显微镜的样品的制备方法，其特征在于：所述方法包括：
提供目标地址区域，所述目标地址区域是要使用所述扫描电容显微镜进行扫描的任何结构，并且所述目标地址区域埋设于第一氧化物中，以及在所述第一氧化物之下具有硅片；
使用聚焦离子束-电子束方法在所述第一氧化物上沉积第二氧化物；
在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片，得到待研磨样品；以及
研磨所述待研磨样品，从而得到所述用于扫描电容显微镜的样品。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：其中，在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片具体为：使用强力胶在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：其中，在所述第二氧化物上仅黏贴一层玻璃片。
4.一种用于扫描电容显微镜的样品，其特征在于：所述样品经过以下步骤制备：
提供目标地址区域，所述目标地址区域是要使用所述扫描电容显微镜进行扫描的任何结构，并且所述目标地址区域埋设于第一氧化物中，以及在所述第一氧化物之下具有硅片；
使用聚焦离子束-电子束方法在所述第一氧化物上沉积第二氧化物；
在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片，得到待研磨样品；以及
研磨所述待研磨样品，从而得到所述用于扫描电容显微镜的样品。
5.根据权利要求4所述的样品，其特征在于：其中，在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片具体为：使用强力胶在所述第二氧化物上黏贴一层或多层玻璃片。
6.根据权利要求4所述的样品，其特征在于：其中，在所述第二氧化物上仅黏贴一层玻璃片。
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