[发明专利]一种苯胺低聚物PEG两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法在审
| 申请号： | 201711169909.X | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN107987245A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杨凤;李香玉;王文远;刘桐;赵海超 | 申请（专利权）人： | 沈阳化工大学 |
| 主分类号： | C08G18/66 | 分类号： | C08G18/66;C08G18/48;C08G18/32;C08G65/333;C23G1/06 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司21205 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110142 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 苯胺 低聚物 peg 两亲性嵌段 共聚物 缓蚀剂 制备 方法 | ||
1.一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下制备过程：
步骤1聚乙二醇单甲醚与氰酸酯类化合物物质的量比为（1~1.2）：（1~1.2）在有机溶剂中温度为50~70℃反应2~5h；
步骤2加入苯胺低聚物继续反应18~24 h，反应结束后所得产物在正己烷或石油醚中沉淀，放入真空烘箱内干燥处理得到 mPEG-AT两亲型嵌段共聚物；
反应式如下：
。
2.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述聚乙二醇单甲醚、氰酸酯类化合物和苯胺低聚物物质的量比为（1~1.2）：（1~1.2）：（1~1.2）。
3.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述第一步反应溶液中加入苯胺低聚物继续反应18~24 h，反应结束后所得产物进行后处理，放入真空烘箱内干燥处理得到 mPEG-AT两亲型嵌段共聚物。
4.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述后处理用正己烷或石油醚沉淀。
5.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的氰酸酯类化合物包括甲苯二异氰酸酯和/或二苯甲烷二异氰酸酯。
6.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的有机溶剂为四氢呋喃、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、环丁砜三乙酸甘油酯、N-甲基吡咯烷酮、磷酸三乙酯、氯仿的一种或几种的混合，优先选用四氢呋喃、N，N-二甲基甲酰胺。
7.根据权利要求1所述的一种苯胺低聚物PEG 两亲性嵌段共聚物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的苯胺低聚物为苯胺三聚体、苯胺四聚体、苯胺五聚体、苯胺六聚体。
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