[发明专利]表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置

说明书

本发明一实施例的表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置包括：灰尘粒子拍摄部，拍摄灰尘粒子，并传送图像；图像分类部，对从所述灰尘粒子拍摄部接收的图像进行处理，对所述灰尘粒子的数量、大小进行分类并进行传送；以及控制器，若从所述图像分类部接收的所述数量、大小大于预先设定的基准数量、大小，则输出提示信号，所述灰尘粒子拍摄部包括：工作台，具有黏性，用于收集落下的灰尘粒子，以防止所述灰尘粒子掉落；光源，在所述工作台的两侧面以–45度至+45度照射光；以及摄像头，在所述工作台的上部面或下部面拍摄集尘于所述工作台的灰尘粒子。

技术领域

本发明的多种实施例涉及表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置。

背景技术

在包括半导体、显示器(例如，液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等)的需要清净空间的精密部件加工产业中广泛使用的无人自动生产线中，产品的移动及用于移动产品的各种机器人的移动包括以构成多个装置的结构物为主轴的金属性原材料、塑料等器具、用于驱动这些的马达、轴和轴承等，以及对它们分别进行电连接的电缆(cable)及包围所述电缆的电缆拖链(cable veyor)等。

通常情况下，这些装置为了生产产品而需要进行持续的移动，而在这种过程中产生成为产品不良原因的大量的灰尘粒子。

因此，通常的这种自动生产装置需要无灰尘粒子的清净的空间，因而在自动生产装置内设置被称为HEPA(高效空气过滤器)或ULPA(超高效空气过滤器)的空气净化过滤器(filter)。

以往需要高清洁度的作业现场或自动化的生产设备内的发生型粒子测定设备使用光散射方式或吸收光方式，所述光散射方式或吸收光方式为在向透射激光(laser)的规定的密封区域吸入空气后，经过产生激光光线或规定的单一波长的光线区域，并使借助经过光线波束区(zone)的灰尘粒子反射的反射光放大为电信号来进行测定或使所吸收的光的量放大为电信号来进行测定的方式。

有报告指出，一般情况下，在吸收浮在空气中的浮游粒子来进行测定的现有的方式中，虽然会因落在实际生产的产品而带来影响，但也有很多情况下不会带来影响，并且，也存在因吸引力而吸入存在于与产品相隔开的区域的灰尘粒子的诸多事例，因此，普遍存在无法以相关系数说明自动化的生产设备的状态监测或产品不良率的情况。

公开于成为这种发明的背景的技术中的所述信息仅用于提高对本发明的背景的理解度，因此，也可以包含不构成现有技术的信息。

发明内容

本发明的多种实施例所要解决的问题在于，提供表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置。具体说明如下，本发明的多种实施例所要解决的问题在于，提供表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置，所述表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置的差别化的特征在于，针对普遍发生于半导体、显示器或与此类似水准的超精密尖端部件、由灰尘粒子引起不良的作业现场及自动化生产设备的运行过程中并重新附着于产品的表面来提高不良率的发生型灰尘粒子，第一，对所述发生型灰尘粒子所掉落的表面进行实时监测，第二，对灰尘粒子的大小/数量进行分类，第三，使灰尘粒子的形状实现图像化，第四，自行设定提示，从而在发生或监测(monitoring)到基准值以上的灰尘粒子的情况下，输出警报提示信号，第五，向生产设备输出联锁信号，以对设备进行预防整顿，从而使用为可降低产品不良率的辅助装置。

本发明的多种实施例的表面沉积粒子的实时累计测定及图像分析装置包括：灰尘粒子拍摄部，拍摄灰尘粒子，并传送图像；图像分类部，对从所述灰尘粒子拍摄部接收的图像进行处理，对所述灰尘粒子的数量、大小进行分类并进行传送；以及控制器，若从所述图像分类部接收的所述数量、大小大于预先设定的基准数量、大小，则输出提示信号，所述灰尘粒子拍摄部包括：工作台，具有黏性，用于收集落下的灰尘粒子，以防止所述灰尘粒子掉落；光源，在所述工作台的两侧面以－45度至+45度照射光；以及摄像头，在所述工作台的上部面或下部面拍摄集尘于所述工作台的灰尘粒子。